
清除空氣中的分子汙染 (AMC) 是高度潔淨生產環境 (例如半導體製造) 中的一項特殊挑戰。製程空氣中的酸、鹼、冷凝物和摻雜物會導致晶圓表面和製程設備發生不希望發生的化學反應。Exentec 的 AMC 過濾器是在我們的內部技術中心設計的。它們在所有相關方面都經過檢驗和優化,例如過濾容量(最長使用壽命)、最高去除效率(最大製程保護)、最低壓降(節能)、最低排氣量和顆粒發展。
Exentec的Cleanroom Envelope模組化無塵室套件
Exentec的Cleanroom Envelope解決方案專為精度和性能而設計,從底層開始提供完全整合的污染控制環境。瞭解我們的模組化系統如何創造無縫、合規且未來就緒的無塵室基礎設施。
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