AMC 濾波器
AMC 濾波器
Exentec 是 AMC 過濾器開發的先驅之一。
在高度潔淨的生產環境 (例如半導體製造) 中，一個特殊的挑戰是清除製程空氣中的空氣分子汙染 (AMC)，例如酸、鹼、冷凝物和摻雜物。這些污染物會在晶圓表面和製程設備上產生不希望發生的化學反應。身為 AMC 過濾器開發的先驅之一，Exentec 可針對不同的應用領域提供各式各樣的過濾產品，例如無塵室天花板的補風或回風過濾器，或是工具和製程保護用的過濾器。
這些產品都是由我們內部的技術中心所設計，並在所有相關方面都經過檢驗和最佳化，例如過濾容量 (= 最大使用壽命)、最高去除效率 (= 最大製程保護)、最低壓降 (= 節能)、最低排氣量和微粒發展。
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD 金屬框內含濾材組合，可去除所有可能的空氣分子汙染 AMC。此種離子交換濾材與浸漬活性碳材料的組合融合了所有濾網技術的優點，可在一個濾網外殼內去除全部的 AMC。這種組合式過濾器可實現高去除效率，並延長過濾器的使用壽命。
R-PCF-CD
R-PCF-CD 是用於處理揮發性有機化合物 (VOC) 的緊湊型過濾器。PCF 系列的此機型配備了大量高品質的活性碳介質，即使在進氣濃度較低的情況下，也能達到最長的濾網使用壽命和高去除效率。因此，它能為半導體和平板產業的關鍵製程提供最佳保護。由於採用智慧型設計，壓降極低，有助於節省電力成本。
INX-A
INX-A 配備金屬框架，內含各種顆粒狀或纖維狀離子交換介質，其中的陰離子交換介質可去除酸性物質。這導致了非常高的去除效率以及無與倫比的高容量，從而使過濾器的有效壽命更長。過濾器的壓降也非常低，有助於降低能源成本。
INX-B
INX-B 配備金屬框架，內含各種顆粒狀或纖維狀離子交換介質，其中陽離子交換介質用於去除鹽基。這導致了非常高的去除效率以及無與倫比的高容量，從而使過濾器的有效壽命更長。過濾器的壓降也非常低，有助於降低能源成本。
CCF-CD
CCF-CD 配備聚苯乙烯框架，內含活性碳介質，用於去除冷凝物和 VOC。
CCF-ACD
CCF-ACD 帶有聚苯乙烯框架，內含浸漬碳濾材，可去除酸性物質以及冷凝物 / VOC。此過濾器為 V 形過濾器，內含褶式浸漬活性碳材料。其特點是低壓降及高吸附性，可用於去除酸性污染物。此過濾器可完全焚化。
CCF-ACD
