Exentec 的 AMC 過濾器是在我們的內部技術中心設計的。它們在所有相關方面都經過了驗證和優化，例如過濾容量（最長使用壽命）、最高去除效率（最大製程保護）、最低壓降（節能）、最低排氣量和顆粒發展。
為什麼 AMC 過濾器在無塵室中很重要？
去除空氣中的分子汙染 (AMC) 是高度無塵生產環境 (例如半導體製造) 中的特殊挑戰。製程空氣中的酸、鹼、冷凝物和摻雜物會在晶圓表面和製程設備上導致不希望發生的化學反應。 化學過濾器被廣泛應用於環境空氣和循環空氣的污染控制。Exentec 的 AMC 團隊提供全面的服務，針對最高的品質要求，對化學過濾材料進行測試和驗證。過濾材料的開發重點在於去除所有酸性、碱性及有機物質。
空氣中分子污染物的分類
AMC 化合物通常可分為酸、鹽基、可凝結物 (摩爾重量為 120 g/mol 且沸點 >150°C 的有機化合物) 和摻雜物 (可改變半導體晶圓電氣特性的化學物質)。此外，還有其他已知會造成神經錯亂的物質 (例如 H2O2、H2S 或臭氧等其他腐蝕性物質)。
隨著半導體晶片的裝置幾何尺寸不斷縮小，即使是低沸點的 VOC（揮發性有機化合物）也可能造成問題。Exentec 可以為您提供諮詢服務，並針對製程需求提供技術且經濟的解決方案。
CCF
CCF
CCF 配備聚苯乙烯框架，內含浸漬活性碳介質，可去除鹼以及可凝結物 / VOC。此過濾器為 V 形過濾器，內含褶式浸漬活性碳材質。其特點是低壓降及高吸附性，可用於去除鹼性污染物。此過濾器可完全焚化。
INX
INX
INX 配備金屬框架，內含各種顆粒狀或纖維狀離子交換介質，其中的陰離子交換介質可去除酸性物質。這導致了非常高的去除效率以及無與倫比的高容量，從而使過濾器的有效壽命更長。過濾器的壓降也非常低，有助於降低能源成本。
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB 配備聚苯乙烯框架，內含各種顆粒狀纖維離子交換介質。IXV-AB 是一種 AMC 過濾器，可高效去除酸性和鹼性物質。配備Exentec專有的纖維陽離子和陰離子交換材料。該過濾器對目標物質具有非常高的去除效率。
CCF
CCF
CCF 配備聚苯乙烯框架，內含浸漬活性碳介質，可去除鹼以及可凝結物 / VOC。此過濾器為 V 形過濾器，內含褶式浸漬活性碳材質。其特點是低壓降及高吸附性，可用於去除鹼性污染物。此過濾器可完全焚化。
