专为支持各种高科技行业而设计

包括 CMP、碳化硅、LED、太阳能和光学器件，这些系统具有卓越的灵活性、高精度和可靠的性能，而且占地面积小。MEGA® 系统具有灵活的补充率、实时过程监控和可定制的配置，是半导体制造、低固体 CMP 应用等的最佳选择。

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