专为支持各种高科技行业而设计
包括 CMP、碳化硅、LED、太阳能和光学器件，这些系统具有卓越的灵活性、高精度和可靠的性能，而且占地面积小。MEGA® 系统具有灵活的补充率、实时过程监控和可定制的配置，是半导体制造、低固体 CMP 应用等的最佳选择。
联系 MEGA®，了解为您的工厂或洁净室定制配置的浆料混合和分配系统。
系统概览：重点功能
系统概览：重点功能
- 操作灵活
- 支持小批量到大批量的特种化学工艺
- 可调节使用点分配压力，满足不同的工具要求
- 可扩展和可配置的设计
- 根据特定的工厂和洁净室布局定制多种系统型号
- 可为新建和改建设施提供定制选项
- 久经考验的可靠性
- 专为高吞吐量制造环境而设计
- 总体拥有成本低，系统性能强大
主要优势
主要优势
- 可扩展架构支持根据生产需求的增长进行扩展
- 兼容多种基于以太网的协议和传统接口
- 可作为独立的 PLC 系统运行，也可轻松集成到现有的 SCADA 基础设施中
- 冗余电源、通信和控制逻辑提高了正常运行时间和运行安全性
- 专为 CMP 晶圆厂、浆料系统和全球环路网络中的化学品输送而设计
选项
选项
- 冗余交流电源
- 冗余通信链路
- 用于故障切换保护的冗余可编程逻辑控制器 (PLC)
适用应用
适用应用
- CMP 浆料配送系统（小型和大型晶圆厂）
- 全球循环化学品供应系统
- 多点工具通信网络
- 化学品或气体柜监控
- 用于传统和现代工具集成的过程控制接口