Met een open procesruimte die de dekbladconfiguratie van grotere natte werktafels weerspiegelt en een geïntegreerde laminaire luchtstroom, minimaliseert het CELERA-systeem de contaminatie van deeltjes en rook, waardoor het ideaal is voor onderzoek, ontwikkeling en pilot-lijnomgevingen.
Belangrijkste voordelen
- Modulair ontwerp - Volledig aanpasbare tanklayouts en materiaalconfiguraties
- Controle op vervuiling - laminaire luchtstroom over het dekblad voor een schone procesomgeving
- Efficiëntie op laboratoriumschaal - handmatige en halfautomatische opties verminderen de downtime en verbeteren de doorvoer
- Flexibele substraatondersteuning - van 100mm tot 300mm wafers en aangepaste substraten
CELERA® werktafels zijn de ideale handmatige of semiautomatische oplossing voor natte verwerking voor O&O op het gebied van halfgeleiders, materiaalwetenschappen en andere schone toepassingen - prestaties, flexibiliteit en veiligheid in één compact systeem.
Het systeem in één oogopslag - Uitgelichte kenmerken
- 100mm tot 300mm wafers plus aangepaste substraten
- Toepassingen voor oppervlaktevoorbereiding en plating
- Voor- en achtertoegang configuratieopties
- Ondersteunt elke chemische stof of substraatgrootte
- Polypropyleen, PVC - FM4910 of roestvrij staal
- Semi-automatisch - front-to-back robots of mechanische agitatie
- Badrecirculatie/filtratie - processen op hoge temperatuur en in de omgeving
- Megasonic/Ultrasone tanks - Verwijdering van deeltjes en dikke resten
- Spijken in bad - Waterstofperoxide, D.I. water en extra toevoegingen
- Besturing met microprocessor of PLC met HMI-touchscreen
- Wielen met stelpoten
Opties
- FM 4910 goedgekeurde bouwmaterialen
- Aangepaste afvoerkanalen en accessoires voor het hanteren van chemicaliën (flacons, flessen, enz.)
- FM-gekeurd C2 branddetectie- en blussysteem
- SEMI- en CE-markering of andere NRTL-tests en certificering door derden
- HEPA/ULPA-luchtfiltratie
CELERA-opties
CELERA-opties
- FM 4910 goedgekeurde bouwmaterialen
- Aangepaste afvoerkanalen en chemicaliënbehandelingsaccessoires (flacons, flessen, enz.)
- FM-gekeurd C2 branddetectie- en blussysteem
- SEMI- en CE-markering of andere NRTL-tests en certificering door derden
- HEPA/ULPA-luchtfiltratie
CELERA Kenmerken
CELERA Kenmerken
100-300 mm wafers, substraten
Oppervlaktevoorbereiding en plating
Toegangsoptiesvoor en achter
Ondersteunt elke chemische stof of substraatgrootte
Polypropyleen, PVC-FM4910, roestvrij
Front-to-back robots of mechanische agitatie
Badrecirculatie/filtratie
Hoge temperatuur + omgevingsprocessen
Megasonic/Ultrasoon deeltjesverwijdering
Spuiten in bad: Waterstofperoxide, H2O
CELERA-voordelen
CELERA-voordelen
Modulair ontwerp Volledig aanpasbare tanklay-outs en materiaalconfiguraties
Controle op vervuiling Laminaire luchtstroom over het dekblad voor een schone procesomgeving
Efficiëntie op laboratoriumschaal Handmatige en halfautomatische opties verminderen de downtime en verbeteren de doorvoer
Flexibele ondersteuning Van 100mm-300mm wafers & aangepaste substraten
CELERA Extra functies
CELERA Extra functies
- Badrecirculatie/filtratie - Processen bij hoge temperaturen en omgevingstemperaturen
- Megasonic/Ulttrasonic tanks - Verwijdering van deeltjes en dikke resten
- Spijken in bad - Waterstofperoxide, D.I. water en extra toevoegingen
- Microprocessorgestuurde besturing of PLC-besturing met HMI-touchscreen
- Wielen met stelpoten