Aeris Geautomatiseerde Natte Bench

Ongeëvenaarde prestaties voor evoluerende R&D-behoeften

Of u nu nodes van de volgende generatie ontwikkelt of uw ets- en reinigingsrecepten verfijnt, de Aeris® Automated Wet Bench is ontworpen om gelijke tred te houden met innovatie. Van substraatreiniging tot zuur/base etsen, deze wet bench levert het. Toepassingen:

• Procesontwikkeling
• Materiaal evaluatie
• Oppervlaktevoorbereiding
• Reinigen na etsen

De beschikbare configuraties zijn volledig gesloten, semi-automatisch en aanpasbare footprints die passen bij de lay-out en workflow van uw lab.

De pc-gebaseerde besturingsinterface van het systeem maakt continue bewaking van de voortgang van de wafers door de verschillende procesbaden mogelijk. Dit maximaliseert op zijn beurt de totale doorvoer van de wafers door de complenathantietijden van elk proces te bewaken en de wafers automatisch door de opeenvolgende baden te transporteren. Elk wafer lot wordt geïdentificeerd door een lot ID code en de procesrecepten worden automatisch gedownload naar de CPU via het ingebouwde Windows PC-gebaseerde besturingssysteem. De database en het monitoringsysteem kunnen via een SECS II interface verbonden worden met bedrijfssystemen voor real-time monitoring en datalogging.

Aeris® geautomatiseerde natte banken: Voor twee of meer procesbaden

Aeris automatisering van natte bakken is ontworpen voor processen met twee of meer procesvaten. Het transfersysteem kan worden ingesteld als een lineaire front-to-back of links-naar-rechts configuratie of als een 3-assig systeem dat complexere transfers tussen baden mogelijk maakt op een kleiner vloeroppervlak. De transfersystemen zijn ontworpen voor enkele of dubbele wafercassettes tot 200 mm of een enkele 300 mm wafercassette. Het besturingssysteem omvat een PLC en een kleuren touchscreen interface (HMI). De PLC heeft wachtwoordbeveiliging op meerdere niveaus en kan meerdere procesrecepten opslaan, terwijl de HMI meerdere schermen heeft voor onderhoud, receptinstellingen, tankinstellingen, bediening en alarmstatus.

Het systeem in één oogopslag: belangrijkste functies

• Flexibele configuraties om elke natte chemische toepassing te ondersteunen
• Ondersteunt zowel single-wafer als batchverwerking
• 100mm tot 300mm wafers plus aangepaste substraten
• Lineaire of meerassige robotconfiguraties
• Meerdere laad/ontlaad configuraties
• Opties voor open of volledig gesloten omgeving
• Badrecirculatie/filtratie
• Verwarmde, gekoelde of omgevingstoepassingen
• Megasonische en/of ultrasone tanks
• Opties voor chemische monitoring / metrologie
• Concentratie, geleidbaarheid, pH, temperatuur, aantal deeltjes enz.
• Bulkdistributie of boorddosering
• Spijkeren in bad - Waterstofperoxide, D.I. water en extra additieven
• Oppervlaktespanning gradiënt drogen
• miSCADA besturing - integreert PLC's, Modbus, OPC/OPC UA servers, MQTT en SECS/GEM

Opties

• FM 4910 goedgekeurde bouwmaterialen.
• FM-goedgekeurd CO2-branddetectie- en bestrijdingssysteem.
• SEMI- en CE-markering of andere NRTL-tests en certificering door derden.
• HEPA/ULPA luchtfiltratie
• Verlichtingsapparaat
• Windows-pc met netwerkopties
• SECS/GEM of software voor activabeheer beschikbaar