Meettechniek | Producten

Voordelen van MEGA SA200

Real-time deeltjesanalyse voorkomt kostbaar opbrengstverlies door microverontreiniging
Analyseer slurries met hoge concentraties via gefaseerde verdunning (enkelvoudig of dubbel)
Verbeter de procescontrole met lage toevalsfoutenpercentages
Draagbaar en configureerbaar voor gebruik op gereedschap- of systeemniveau
Lage eigendomskosten voor meerdere gereedschappen of productielijnen

Kenmerken MEGA meetwagen

Deeltjesgrootte detectie van 0.2μm tot 2.0μm
Twee onafhankelijke metrologie slipstreams voor parallelle analyse
Optionele een- of tweetraps verdunning met inline pH-aanpassing
Meerdere sensor configuraties gebaseerd op applicatie eisen
Compatibel met zowel inline als grab monsteranalyse
Draadloze LAN of seriële gegevensuitvoeropties
Veiligheidsfuncties zijn onder andere inlaat-/uitlaatdebietmeters en wielvergrendelingssysteem
Optionele IPC-interface voor integratie met MES of gereedschapscontrolesysteem

Voordelen van de MEGA Metrology Cart

Real-time deeltjesgroottebewaking om opbrengstverlies door microverontreiniging te voorkomen
Nauwkeurige lasergebaseerde detectie met lage toevalsfout voor strakkere procescontrole
Ondersteunt geconcentreerde slurryanalyse via verdunning in één of twee stappen
Draagbaar en configureerbaar voor gereedschap, lab of inline integratie
Kosteneffectieve oplossing voor multi-tool of ontwikkelomgevingen

Kenmerken MEGA SA100

Online, kwantitatieve concentratiebewaking
Tot 6 slipstreams (dezelfde chemie) voor meerpuntsanalyse van meerdere systemen
Programmeerbare recepten voor monstername, doorspoelen en aanvullen van bestanddelen Specifieke assays en elektrochemische sensoren voor nauwkeurige, gerichte metingen
Ingebouwde automatische spoeling met Di of Peroxide met handmatige overschakeling
Bemonstering onder druk vanuit gereedschapbronnen
Gescheiden chemische en elektrische compartimenten
E.M.O. (Emergency Machine Off), hoorbare/zichtbare alarmen en lekdetectie
Conformiteit met SEMI S2 en controle van systeemuitlaatgassen

Voordelen van MEGA SA100

Verhoog de productopbrengst door de chemische samenstelling van het proces nauwkeurig bij te houden
Bewaking van chemische degradatie gedurende de volledige levenscyclus van het product
Snelle detectie en correctie van procesvariaties
Risico op verlies van batches minimaliseren met real-time inzicht in chemicaliën
99,9% systeembeschikbaarheid garandeert betrouwbare uptime
Direct bestuurd vanuit het mengsysteem (geen externe PLC nodig)

MEGA SA100 Toepassingen

Fabricage van halfgeleiders
Post-CMP-slurrybewaking
Zonne-/PV-productie
CMP-processen met laag volume
Productie van LED en siliciumcarbide (SiC)
Ruimtevaart en ECD (elektrochemische afzetting)
Productie van IoT-apparaten SA100-serie - zeer nauwkeurige slurrietitratie en chemische analyse

Kenmerken MEGA® SA200-serie

Detectie van deeltjesgrootte van 0,2 μm tot 20 μm (afhankelijk van configuratie)
Instelbare deeltjesgrootte binning voor granulaire data
Ondersteunt tot 1.000.000:1 verdunning (tweetraps)
Meerdere sensor opties en in-serie configuraties voor verificatie
Lange termijn batch en filter prestatie monitoring
Accepteert graafmonsters of continue bemonstering
Handmatige bediening voor verdunning en spoelen met DI of chemische opties
Gemaakt van chemisch bestendige PFA kunststoffen en 316 SS flowmeters
Optionele FM 4910 of WPP-conforme behuizingen

Voordelen van MEGA SA200

Real-time deeltjesanalyse voorkomt kostbaar opbrengstverlies door microverontreiniging
Analyseer slurries met hoge concentraties via gefaseerde verdunning (enkelvoudig of dubbel)
Verbeter de procescontrole met lage toevalsfoutenpercentages
Draagbaar en configureerbaar voor gebruik op gereedschap- of systeemniveau
Lage eigendomskosten voor meerdere gereedschappen of productielijnen

Kenmerken MEGA meetwagen

Deeltjesgrootte detectie van 0.2μm tot 2.0μm
Twee onafhankelijke metrologie slipstreams voor parallelle analyse
Optionele een- of tweetraps verdunning met inline pH-aanpassing
Meerdere sensor configuraties gebaseerd op applicatie eisen
Compatibel met zowel inline als grab monsteranalyse
Draadloze LAN of seriële gegevensuitvoeropties
Veiligheidsfuncties zijn onder andere inlaat-/uitlaatdebietmeters en wielvergrendelingssysteem
Optionele IPC-interface voor integratie met MES of gereedschapscontrolesysteem

Voordelen van de MEGA Metrology Cart

Real-time deeltjesgroottebewaking om opbrengstverlies door microverontreiniging te voorkomen
Nauwkeurige lasergebaseerde detectie met lage toevalsfout voor strakkere procescontrole
Ondersteunt geconcentreerde slurryanalyse via verdunning in één of twee stappen
Draagbaar en configureerbaar voor gereedschap, lab of inline integratie
Kosteneffectieve oplossing voor multi-tool of ontwikkelomgevingen

Kenmerken MEGA SA100

Online, kwantitatieve concentratiebewaking
Tot 6 slipstreams (dezelfde chemie) voor meerpuntsanalyse van meerdere systemen
Programmeerbare recepten voor monstername, doorspoelen en aanvullen van bestanddelen Specifieke assays en elektrochemische sensoren voor nauwkeurige, gerichte metingen
Ingebouwde automatische spoeling met Di of Peroxide met handmatige overschakeling
Bemonstering onder druk vanuit gereedschapbronnen
Gescheiden chemische en elektrische compartimenten
E.M.O. (Emergency Machine Off), hoorbare/zichtbare alarmen en lekdetectie
Conformiteit met SEMI S2 en controle van systeemuitlaatgassen

Voordelen van MEGA SA100

Verhoog de productopbrengst door de chemische samenstelling van het proces nauwkeurig bij te houden
Bewaking van chemische degradatie gedurende de volledige levenscyclus van het product
Snelle detectie en correctie van procesvariaties
Risico op verlies van batches minimaliseren met real-time inzicht in chemicaliën
99,9% systeembeschikbaarheid garandeert betrouwbare uptime
Direct bestuurd vanuit het mengsysteem (geen externe PLC nodig)

MEGA SA100 Toepassingen

Fabricage van halfgeleiders
Post-CMP-slurrybewaking
Zonne-/PV-productie
CMP-processen met laag volume
Productie van LED en siliciumcarbide (SiC)
Ruimtevaart en ECD (elektrochemische afzetting)
Productie van IoT-apparaten SA100-serie - zeer nauwkeurige slurrietitratie en chemische analyse

Kenmerken MEGA® SA200-serie

Detectie van deeltjesgrootte van 0,2 μm tot 20 μm (afhankelijk van configuratie)
Instelbare deeltjesgrootte binning voor granulaire data
Ondersteunt tot 1.000.000:1 verdunning (tweetraps)
Meerdere sensor opties en in-serie configuraties voor verificatie
Lange termijn batch en filter prestatie monitoring
Accepteert graafmonsters of continue bemonstering
Handmatige bediening voor verdunning en spoelen met DI of chemische opties
Gemaakt van chemisch bestendige PFA kunststoffen en 316 SS flowmeters
Optionele FM 4910 of WPP-conforme behuizingen

Voordelen van MEGA SA200

Real-time deeltjesanalyse voorkomt kostbaar opbrengstverlies door microverontreiniging
Analyseer slurries met hoge concentraties via gefaseerde verdunning (enkelvoudig of dubbel)
Verbeter de procescontrole met lage toevalsfoutenpercentages
Draagbaar en configureerbaar voor gebruik op gereedschap- of systeemniveau
Lage eigendomskosten voor meerdere gereedschappen of productielijnen

Kenmerken MEGA meetwagen

Deeltjesgrootte detectie van 0.2μm tot 2.0μm
Twee onafhankelijke metrologie slipstreams voor parallelle analyse
Optionele een- of tweetraps verdunning met inline pH-aanpassing
Meerdere sensor configuraties gebaseerd op applicatie eisen
Compatibel met zowel inline als grab monsteranalyse
Draadloze LAN of seriële gegevensuitvoeropties
Veiligheidsfuncties zijn onder andere inlaat-/uitlaatdebietmeters en wielvergrendelingssysteem
Optionele IPC-interface voor integratie met MES of gereedschapscontrolesysteem

Voordelen van de MEGA Metrology Cart

Real-time deeltjesgroottebewaking om opbrengstverlies door microverontreiniging te voorkomen
Nauwkeurige lasergebaseerde detectie met lage toevalsfout voor strakkere procescontrole
Ondersteunt geconcentreerde slurryanalyse via verdunning in één of twee stappen
Draagbaar en configureerbaar voor gereedschap, lab of inline integratie
Kosteneffectieve oplossing voor multi-tool of ontwikkelomgevingen