Optimaliseer uw slurrydistributie met MEGA®.
MEGA® distributiesystemen zijn geavanceerde, schaalbare oplossingen voor gemengde slurrylevering in halfgeleider- en CMP-toepassingen. MEGA® distributiesystemen bieden een nauwkeurige en consistente slurrydistributie voor een reeks CMP-gereedschappen (chemisch mechanisch planariseren). MEGA® distributiesystemen zijn ontworpen voor precisie, flexibiliteit en integratie in CMP-slurryverwerkingsomgevingen, of het nu gaat om ondersteuning van nieuwe installaties of het retrofitten van bestaande fabs.