Ontworpen voor oude en nieuwe toepassingen
Deze systemen zijn ontworpen om te voldoen aan de hoge eisen van halfgeleiderfabricage CMP-toepassingen en andere hoogzuivere chemische processen, en ondersteunen een breed scala aan mengverhoudingen en bijvulsnelheden, waardoor ze ideaal zijn voor zowel oude als nieuwe-generatietoepassingen.
De MEGA® mengsystemen zijn ontworpen voor totale betrouwbaarheid en herhaalbaarheid en bieden geautomatiseerde besturing, intelligente bewaking en aanpasbare tankcapaciteiten om te voldoen aan de specifieke eisen van elke procesomgeving.
Functie-rijke techniek
Functie-rijke techniek
- Nauwkeurige mengondersteuning voor een breed scala aan verhoudingen en chemicaliën
- Totale mengcapaciteit van 30 tot 500 liter, afhankelijk van de systeemconfiguratie
- Automatisch spoelen, doorspoelen en aftappen van grondstoffen en mengcircuits voor maximale reinheid
- Luchtbevochtiger in borrelvorm zorgt voor een stikstofdeken (N₂) over de mengtank ter bescherming van de zuiverheid
- Handmatige bemonsteringspoorten voor verificatie van de mengselkwaliteit
Maximaliseer de prestatievoordelen
Maximaliseer de prestatievoordelen
- Uitlaatgasbewaking voor veiligheid en procesregeling
- Handmatige dempingsklep om de tegendruk in de retourleiding van de transferkring te regelen
- Handmatige isolatie, bypass, aftap en ontgassingsmogelijkheden voor een betere filtercontrole
- Capacitieve vatleegstandsensoren voor ononderbroken materiaaltoevoer
- Druktransducer voor real-time bewaking van de toevoerdruk van grondstoffen
Toepassingen voor meerdere faciliteiten
Toepassingen voor meerdere faciliteiten
- Fabricage van halfgeleiderwafers
- Chemisch-mechanische planarisatie (CMP)
- Fotovoltaïsche en micro-elektronische productie
- Precisiecoatings en geavanceerd materiaal R&D
Functie-rijke techniek
Functie-rijke techniek
- Nauwkeurige mengondersteuning voor een breed scala aan verhoudingen en chemicaliën
- Totale mengcapaciteit van 30 tot 500 liter, afhankelijk van de systeemconfiguratie
- Automatisch spoelen, doorspoelen en aftappen van grondstoffen en mengcircuits voor maximale reinheid
- Luchtbevochtiger in borrelvorm zorgt voor een stikstofdeken (N₂) over de mengtank ter bescherming van de zuiverheid
- Handmatige bemonsteringspoorten voor verificatie van de mengselkwaliteit