AMC Filters
AMC Filters
Exentec is een van de pioniers in de ontwikkeling van AMC-filters
Een speciale uitdaging in zeer schone productieomgevingen (d.w.z. halfgeleiderfabricage) is het verwijderen van Moleculaire Verontreiniging in de lucht (Airborne Molecular Contamination, AMC), zoals zuren, basen, condensaten en doteermiddelen uit de proceslucht. Deze kunnen leiden tot ongewenste chemische reacties op het waferoppervlak en de procesapparatuur. Als een van de pioniers in de ontwikkeling van AMC filters, biedt Exentec een uitgebreide reeks van verschillende filtratieproducten voor verschillende toepassingsgebieden, zoals make-up lucht of luchtafvoer filters voor cleanroom plafonds of voor de bescherming van gereedschappen en processen.
De producten worden ontwikkeld in ons eigen technologiecentrum en zijn gekwalificeerd en geoptimaliseerd op alle relevante aspecten zoals filtercapaciteit (= maximale levensduur), hoogste verwijderingsefficiëntie (= maximale procesbescherming), laagste drukval (= energiebesparing), laagste uitgassing en deeltjesontwikkeling.
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD met metalen frame met mediacombinatie voor het verwijderen van alle mogelijke AMC's van Airborne Molecular Contamination. Deze combinatie van ionenuitwisselingsmedia met geïmpregneerd actief koolmateriaal combineert het beste van alle filtertechnologieën om de volledige reeks AMC's te verwijderen binnen één filterbehuizing. Deze combinatiefilter zorgt voor een hoge verwijderingsefficiëntie en een lange nuttige levensduur van de filter.
R-PCF-CD
R-PCF-CD zijn compacte filters voor de behandeling van vluchtige organische stoffen (VOC's). Dit model uit de PCF-serie is uitgerust met een enorme hoeveelheid actieve kool van hoge kwaliteit, wat leidt tot de langst mogelijke levensduur van het filter en een hoge verwijderingsefficiëntie, zelfs bij lage inlaatconcentraties. Daarom biedt het optimale bescherming voor de kritische processen van de halfgeleider- en flatpanelindustrie. Dankzij het intelligente ontwerp wordt de drukval extreem laag gehouden, wat helpt om elektriciteitskosten te besparen.
INX-A
INX-A met metalen frame dat verschillende granulaire of vezelige ionenuitwisselingsmedia bevat met anionenuitwisselingsmedium voor de verwijdering van zuren. Dit leidt tot een zeer hoge verwijderingsefficiëntie en een ongeëvenaard hoge capaciteit en dus tot een lange effectieve levensduur van het filter. De filter heeft ook een zeer lage drukval, waardoor de energiekosten laag blijven.
INX-B
INX-B met metalen frame dat verschillende korrelige of vezelige ionenwisselingsmedia bevat met kationenwisselingsmedium voor de verwijdering van basen. Dit leidt tot een zeer hoge verwijderingsefficiëntie en een ongeëvenaard hoge capaciteit en dus tot een lange effectieve levensduur van het filter. De filter heeft ook een zeer lage drukval, waardoor de energiekosten laag blijven.
CCF-CD
CCF-CD met polystyreen frame met actieve kool met hooggeactiveerde koolstof voor verwijdering van condensaten resp. VOC's.
CCF-ACD
CCF-ACD met polystyreen frame dat geïmpregneerde koolstofmedia bevat voor de verwijdering van zuren en condensaten / VOC's. Dit filter is een V-vormig filter met geplooid, geïmpregneerd actief koolmateriaal. Het wordt gekenmerkt door een lage drukval en hoge adsorptie en wordt gebruikt voor de verwijdering van zure verontreinigingen. Het filter is volledig verbrandbaar.
CCF-ACD
