De AMC filters van Exentec worden ontworpen in ons eigen technologiecentrum. Ze zijn stuk voor stuk gekwalificeerd en geoptimaliseerd op alle relevante aspecten, zoals filtercapaciteit (maximale levensduur), hoogste verwijderingsefficiëntie (maximale procesbescherming), laagste drukval (energiebesparing), laagste uitgassing en deeltjesontwikkeling.
Waarom zijn AMC filters belangrijk in cleanrooms?
Het verwijderen van luchtgedragen moleculaire verontreiniging (AMC) is een speciale uitdaging in zeer schone productieomgevingen (bijv. halfgeleiderfabricage). Zuren, basen, condensables en doteringsmiddelen in de proceslucht kunnen leiden tot ongewenste chemische reacties op het waferoppervlak en de procesapparatuur. Chemische filters worden gebruikt in een groot aantal toepassingen voor de controle op vervuiling van omgevings- en circulatielucht. Het AMC-team van Exentec biedt een uitgebreide service voor het testen en testen van chemische filtermaterialen voor de hoogste kwaliteitseisen. De ontwikkeling van filtermaterialen is gericht op de verwijdering van alle zure, basische en organische stoffen.
Classificatie van moleculaire verontreinigingen in de lucht
AMC-verbindingen worden gewoonlijk ingedeeld in zuren, basen, condenseerbare stoffen (organische verbindingen met een molair gewicht van 120 g/mol en een kookpunt van >150°C) en doteermiddelen (chemicaliën die de elektrische eigenschappen van halfgeleiderwafers kunnen veranderen). Er zijn ook andere stoffen waarvan bekend is dat ze delirante effecten kunnen veroorzaken (d.w.z. andere corrosieve stoffen zoals H2O2, H2S of ozon).
Met de steeds kleiner wordende geometrieën van halfgeleiderchips kunnen zelfs VOC's (vluchtige organische stoffen) met een laag kookpunt problematisch zijn. Exentec kan met u overleggen en een technische en economische oplossing leveren voor uw procesbehoeften.
CCF
CCF
CCF met polystyreen frame met geïmpregneerde koolstofmedia voor de verwijdering van zowel basen als condensaten / VOC's. Dit filter is een V-vormig filter met geplooid, geïmpregneerd actief koolmateriaal. Het wordt gekenmerkt door een lage drukval en hoge adsorptie en wordt gebruikt voor de verwijdering van alkalische verontreinigingen. Het filter is volledig verbrandbaar.
INX
INX
INX met metalen frame dat verschillende granulaire of vezelvormige ionenuitwisselingsmedia bevat met anionenuitwisselingsmedium voor de verwijdering van zuren. Dit leidt tot een zeer hoge verwijderingsefficiëntie en een ongeëvenaard hoge capaciteit en dus tot een lange effectieve levensduur van het filter. De filter heeft ook een zeer lage drukval, waardoor de energiekosten laag blijven.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB met polystyreen frame dat verschillende granulaire of vezelige ionenuitwisselingsmedia bevat. De IXV-AB is een AMC filter voor zeer efficiënte verwijdering van zuren en alkaliën. Uitgerust met Exentec's eigen vezelige an- en kationenwisselaar materialen. De filter heeft een zeer hoge verwijderingsefficiëntie voor de beoogde stoffen.
CCF
CCF
CCF met polystyreen frame met geïmpregneerde koolstofmedia voor de verwijdering van zowel basen als condensaten / VOC's. Dit filter is een V-vormig filter met geplooid, geïmpregneerd actief koolmateriaal. Het wordt gekenmerkt door een lage drukval en hoge adsorptie en wordt gebruikt voor de verwijdering van alkalische verontreinigingen. Het filter is volledig verbrandbaar.
