Grazie a un'area di processo aperta che rispecchia la configurazione a ripiani dei banchi a umido più grandi e al flusso d'aria laminare integrato, il sistema CELERA riduce al minimo la contaminazione da particelle e fumi, rendendolo ideale per gli ambienti di ricerca, sviluppo e linea pilota.
Vantaggi principali
- Design modulare - Layout dei serbatoi e configurazioni dei materiali completamente personalizzabili
- Controllo della contaminazione - Flusso d'aria laminare sul piano di lavoro per un ambiente di processo pulito
- Efficienza su scala di laboratorio - Le opzioni manuali e semi-automatiche riducono i tempi di inattività e migliorano la produttività
- Supporto flessibile per i substrati: da wafer da 100 mm a 300 mm e substrati personalizzati.
I banchi CELERA® sono la soluzione ideale per la lavorazione ad umido manuale o semi-automatica per la ricerca e lo sviluppo di semiconduttori, la scienza dei materiali e altre applicazioni clean-critical, con un equilibrio tra prestazioni, flessibilità e sicurezza in un unico sistema compatto.
Il sistema in sintesi - Caratteristiche principali
- Wafer da 100 a 300 mm e substrati personalizzati
- Applicazioni di preparazione e placcatura delle superfici
- Opzioni di configurazione con accesso anteriore e posteriore
- Supporto di qualsiasi sostanza chimica o dimensione del substrato
- Polipropilene, PVC - FM4910 o acciaio inossidabile
- Semi-automatizzato - Robot frontali o agitazione meccanica
- Ricircolo del bagno / Filtrazione - Processi ad alta temperatura e ambiente
- Serbatoi megasonici/ultrasonici - Rimozione di particelle e residui spessi
- Spiking del bagno - Perossido di idrogeno, acqua D.I. e additivi aggiuntivi
- Controlli basati su microprocessore o PLC con schermo tattile HMI
- Rotelle con regolazione delle gambe
Opzioni
- Materiali da costruzione approvati FM 4910
- Scarichi personalizzati e accessori per la manipolazione dei prodotti chimici (damigiane, bottiglie, ecc.)
- Sistema di rilevazione ed estinzione degli incendi C2 testato da FM
- Marchio SEMI e CE o altri test e certificazioni NRTL di terze parti
- Filtrazione dell'aria HEPA/ULPA
Opzioni CELERA
Opzioni CELERA
- Materiali da costruzione approvati FM 4910
- Scarichi personalizzati e accessori per il trattamento dei prodotti chimici (damigiane, bottiglie, ecc.)
- Sistema di rivelazione ed estinzione degli incendi C2 testato da FM
- Test e certificazione SEMI e marchio CE o altri test NRTL di terze parti
- Filtrazione dell'aria HEPA/ULPA
CELERA Caratteristiche
CELERA Caratteristiche
Wafer da 100-300 mm, substrati
Preparazione delle superfici e placcatura
Opzioni di accessoanteriore e posteriore
Supporto di qualsiasi sostanza chimica o dimensione del substrato
Polipropilene, PVC-FM4910, acciaio inox
Robot frontali o agitazione meccanizzata
Ricircolo/filtrazione del bagno
Processiad alta temperatura e ambiente
Rimozione di particellemegasoniche/ultrasoniche
Spiking del bagno: perossido di idrogeno, H2O
Vantaggi di CELERA
Vantaggi di CELERA
Design modulare Layout dei serbatoi e configurazioni dei materiali completamente personalizzabili
Controllo della contaminazione Flusso d'aria laminare sul piano di lavoro per un ambiente di processo pulito
Efficienza su scala di laboratorio Le opzioni manuali e semi-automatiche riducono i tempi di inattività e migliorano la produttività
Supporto flessibile Da wafer da 100 mm a 300 mm e substrati personalizzati
CELERA Caratteristiche aggiuntive
CELERA Caratteristiche aggiuntive
- Ricircolo del bagno / Filtrazione - Processi ad alta temperatura e ambiente
- Vasche megasoniche/ultrasoniche - Rimozione di particelle e residui spessi
- Spiking del bagno - Perossido di idrogeno, acqua D.I. e additivi aggiuntivi
- Controlli basati su microprocessore o PLC con schermo tattile HMI
- Rotelle con regolazione delle gambe