Sistemi di metrologia | Prodotti

Vantaggi di MEGA SA200

L'analisi delle particelle in tempo reale previene la costosa perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Analisi di impasti ad alta concentrazione tramite diluizione a stadi (singola o doppia)
Miglioramento del controllo del processo con bassi tassi di errore di coincidenza
Portatile e configurabile per l'implementazione a livello di strumento o di sistema
Basso costo di proprietà su più strumenti o linee di produzione

Caratteristiche del carrello metrologico MEGA

Rilevamento delle dimensioni delle particelle da 0,2μm a 2,0μm
Doppio flusso metrologico indipendente per analisi in parallelo
Diluizione opzionale a uno o due stadi con regolazione del pH in linea
Configurazioni multiple del sensore in base ai requisiti dell'applicazione
Compatibile con l'analisi di campioni in linea e di prelievo
Opzioni di uscita dati wireless LAN o seriale
Le caratteristiche di sicurezza includono misuratori di portata in ingresso/uscita e sistema di blocco delle ruote
Interfaccia IPC opzionale per l'integrazione con il sistema MES o il sistema di controllo degli utensili

Vantaggi del carrello metrologico MEGA

Monitoraggio delle dimensioni delle particelle in tempo reale per prevenire la perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Rilevamento accurato basato su laser con basso errore di coincidenza per un controllo più rigoroso del processo
Supporta l'analisi di fanghi concentrati tramite diluizione a uno o due stadi
Portatile e configurabile per l'integrazione a lato dell'utensile, in laboratorio o in linea
Soluzione conveniente per ambienti multiutensile o di sviluppo

Caratteristiche di MEGA SA100

Monitoraggio quantitativo online delle concentrazioni
Fino a 6 slipstream (stessa chimica) per l'analisi multi-punto di più sistemi
Ricette programmabili per il campionamento, lo spurgo e il reintegro dei costituenti Dosaggi specifici e sensori elettrochimici per misure precise e mirate
Risciacquo/spurgo automatico incorporato con Di o Perossido con comando manuale
Campionamento pressurizzato da sorgenti di strumenti
Compartimenti chimici ed elettrici segregati
Spegnimento di emergenza della macchina (E.M.O.), allarmi acustici/visivi e rilevamento delle perdite
Conformità SEMI S2 e verifica dello scarico del sistema

Vantaggi di MEGA SA100

Aumentare la resa del prodotto mantenendo accuratamente la composizione chimica del processo
Monitoraggio del degrado chimico durante l'intero ciclo di vita del prodotto
Rilevamento e correzione rapidi delle variazioni di processo
Ridurre al minimo il rischio di perdita dei lotti con informazioni chimiche in tempo reale
La disponibilità del sistema al 99,9% garantisce tempi di attività affidabili
Controllato direttamente dal sistema di miscelazione (non è necessario un PLC esterno)

Applicazioni di MEGA SA100

Fabbricazione di semiconduttori
Monitoraggio degli impasti post-CMP
Produzione solare/PV
Processi CMP a basso contenuto di solidi
Produzione di LED e carburo di silicio (SiC)
Aerospaziale ed ECD (Electrochemical Deposition)
Produzione di dispositivi IoT Serie SA100 - Titolazione di fanghi ad alta precisione e analisi chimica

Caratteristiche della serie MEGA® SA200

Rilevamento delle dimensioni delle particelle da 0,2μm a 20μm (in base alla configurazione)
Binning granulometrico regolabile per dati granulari
Supporta una diluizione fino a 1.000.000:1 (doppio stadio)
Opzioni di sensori multipli e configurazioni in serie per la verifica
Monitoraggio a lungo termine delle prestazioni di batch e filtri
Accetta campioni di tipo "grab" o campionamento continuo
Controlli manuali di diluizione e lavaggio con opzioni DI o chimiche
Costruito con plastiche PFA resistenti alle sostanze chimiche e flussimetri in 316 SS
Involucri opzionali conformi a FM 4910 o WPP

Vantaggi di MEGA SA200

L'analisi delle particelle in tempo reale previene la costosa perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Analisi di impasti ad alta concentrazione tramite diluizione a stadi (singola o doppia)
Miglioramento del controllo del processo con bassi tassi di errore di coincidenza
Portatile e configurabile per l'implementazione a livello di strumento o di sistema
Basso costo di proprietà su più strumenti o linee di produzione

Caratteristiche del carrello metrologico MEGA

Rilevamento delle dimensioni delle particelle da 0,2μm a 2,0μm
Doppio flusso metrologico indipendente per analisi in parallelo
Diluizione opzionale a uno o due stadi con regolazione del pH in linea
Configurazioni multiple del sensore in base ai requisiti dell'applicazione
Compatibile con l'analisi di campioni in linea e di prelievo
Opzioni di uscita dati wireless LAN o seriale
Le caratteristiche di sicurezza includono misuratori di portata in ingresso/uscita e sistema di blocco delle ruote
Interfaccia IPC opzionale per l'integrazione con il sistema MES o il sistema di controllo degli utensili

Vantaggi del carrello metrologico MEGA

Monitoraggio delle dimensioni delle particelle in tempo reale per prevenire la perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Rilevamento accurato basato su laser con basso errore di coincidenza per un controllo più rigoroso del processo
Supporta l'analisi di fanghi concentrati tramite diluizione a uno o due stadi
Portatile e configurabile per l'integrazione a lato dell'utensile, in laboratorio o in linea
Soluzione conveniente per ambienti multiutensile o di sviluppo

Caratteristiche di MEGA SA100

Monitoraggio quantitativo online delle concentrazioni
Fino a 6 slipstream (stessa chimica) per l'analisi multi-punto di più sistemi
Ricette programmabili per il campionamento, lo spurgo e il reintegro dei costituenti Dosaggi specifici e sensori elettrochimici per misure precise e mirate
Risciacquo/spurgo automatico incorporato con Di o Perossido con comando manuale
Campionamento pressurizzato da sorgenti di strumenti
Compartimenti chimici ed elettrici segregati
Spegnimento di emergenza della macchina (E.M.O.), allarmi acustici/visivi e rilevamento delle perdite
Conformità SEMI S2 e verifica dello scarico del sistema

Vantaggi di MEGA SA100

Aumentare la resa del prodotto mantenendo accuratamente la composizione chimica del processo
Monitoraggio del degrado chimico durante l'intero ciclo di vita del prodotto
Rilevamento e correzione rapidi delle variazioni di processo
Ridurre al minimo il rischio di perdita dei lotti con informazioni chimiche in tempo reale
La disponibilità del sistema al 99,9% garantisce tempi di attività affidabili
Controllato direttamente dal sistema di miscelazione (non è necessario un PLC esterno)

Applicazioni di MEGA SA100

Fabbricazione di semiconduttori
Monitoraggio degli impasti post-CMP
Produzione solare/PV
Processi CMP a basso contenuto di solidi
Produzione di LED e carburo di silicio (SiC)
Aerospaziale ed ECD (Electrochemical Deposition)
Produzione di dispositivi IoT Serie SA100 - Titolazione di fanghi ad alta precisione e analisi chimica

Caratteristiche della serie MEGA® SA200

Rilevamento delle dimensioni delle particelle da 0,2μm a 20μm (in base alla configurazione)
Binning granulometrico regolabile per dati granulari
Supporta una diluizione fino a 1.000.000:1 (doppio stadio)
Opzioni di sensori multipli e configurazioni in serie per la verifica
Monitoraggio a lungo termine delle prestazioni di batch e filtri
Accetta campioni di tipo "grab" o campionamento continuo
Controlli manuali di diluizione e lavaggio con opzioni DI o chimiche
Costruito con plastiche PFA resistenti alle sostanze chimiche e flussimetri in 316 SS
Involucri opzionali conformi a FM 4910 o WPP

Vantaggi di MEGA SA200

L'analisi delle particelle in tempo reale previene la costosa perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Analisi di impasti ad alta concentrazione tramite diluizione a stadi (singola o doppia)
Miglioramento del controllo del processo con bassi tassi di errore di coincidenza
Portatile e configurabile per l'implementazione a livello di strumento o di sistema
Basso costo di proprietà su più strumenti o linee di produzione

Caratteristiche del carrello metrologico MEGA

Rilevamento delle dimensioni delle particelle da 0,2μm a 2,0μm
Doppio flusso metrologico indipendente per analisi in parallelo
Diluizione opzionale a uno o due stadi con regolazione del pH in linea
Configurazioni multiple del sensore in base ai requisiti dell'applicazione
Compatibile con l'analisi di campioni in linea e di prelievo
Opzioni di uscita dati wireless LAN o seriale
Le caratteristiche di sicurezza includono misuratori di portata in ingresso/uscita e sistema di blocco delle ruote
Interfaccia IPC opzionale per l'integrazione con il sistema MES o il sistema di controllo degli utensili

Vantaggi del carrello metrologico MEGA

Monitoraggio delle dimensioni delle particelle in tempo reale per prevenire la perdita di resa dovuta alla microcontaminazione
Rilevamento accurato basato su laser con basso errore di coincidenza per un controllo più rigoroso del processo
Supporta l'analisi di fanghi concentrati tramite diluizione a uno o due stadi
Portatile e configurabile per l'integrazione a lato dell'utensile, in laboratorio o in linea
Soluzione conveniente per ambienti multiutensile o di sviluppo