Ottimizzate la distribuzione del vostro slurry con MEGA

I sistemi di distribuzione MEGA® sono soluzioni avanzate e scalabili per la distribuzione di slurry miscelati in applicazioni CMP e semiconduttori. I sistemi di distribuzione MEGA® sono progettati per garantire precisione, flessibilità e integrazione negli ambienti di lavorazione dei fanghi CMP, sia che si tratti di nuove installazioni che di retrofit di impianti esistenti.

Vantaggi principali
Vantaggi principali

  • Prestazioni affidabili: Progettato per l'erogazione di slurry CMP in volumi medio-bassi, garantisce un funzionamento affidabile e il supporto degli utensili.
  • Configurazione scalabile: Il design modulare consente la personalizzazione per supportare un numero specifico di loop di slurry globali, ideale per ambienti di produzione in crescita o in evoluzione.
  • Il design economico offre un ingombro ridotto senza sacrificare la qualità o le prestazioni, rendendolo una scelta economica per le fabbriche e le camere bianche.

Industrie servite
Industrie servite

  • Produzione di semiconduttori
  • Trattamento post-CMP
  • Solare/fotovoltaico (PV)
  • Applicazioni CMP a basso contenuto di solidi
  • Produzione di LED
  • Carburo di silicio (SiC) / Fabbricazione di dispositivi IoT

Canali DIspense
Canali DIspense

Il MEGA® SD1000 è stato progettato per la distribuzione di fanghi colloidali e fumogeni a linee di lucidatura a basso e medio volume. Ogni canale di dosaggio è dotato di un serbatoio dedicato:

  • Serbatoio di distribuzione
  • Pompa per fanghi
  • Unità di filtrazione
  • Componenti del circuito ad anello globale

Installato a livello di fabbrica, l'SD1000 è ottimizzato per erogare il liquame alle lucidatrici entro un raggio di 30 metri, mantenendo la pressione del punto di utilizzo (POU) tra 20-30 psi per un flusso di liquame stabile ed efficiente.

Caratteristiche principali
Caratteristiche principali

  • Lavaggio, spurgo e drenaggio automatizzati dei circuiti del fango grezzo e miscelato
  • Ricircolo continuo del serbatoio per mantenere l'uniformità del fango
  • Serbatoi a fondo conico da 15 galloni (56L) in polipropilene naturale (PP) Tee dell'aria e del liquame con rilevamento capacitivo del gas per rimuovere l'aria intrappolata nei circuiti globali
  • Umidificatore a bolle integrato con distribuzione di azoto (N₂) per la copertura del serbatoio
  • Monitoraggio H₂O₂ nel circuito di dosaggio
  • Pressostato/indicatore della pressione differenziale di scarico
  • Porte di campionamento manuale per ciascun circuito del liquame