Il sistema in sintesi: caratteristiche in evidenza
Il sistema in sintesi: caratteristiche in evidenza
  • Interfaccia uomo-macchina (HMI) touchscreen per il controllo e il monitoraggio locale
  • Controlla fino a 8 unità remote per sistema host
  • Protocolli di comunicazione basati su Ethernet
  • Alimentazione CC ridondante standard su tutti i sistemi
  • Supporta la segnalazione di handshake tra CDU e strumenti POU
  • Architettura software altamente configurabile
  • Compatibile con diversi set di strumenti OEM e sistemi di automazione

Applicazioni adatte
Applicazioni adatte
  • Sistemi di distribuzione di slurry CMP (fabs di piccole e grandi dimensioni)
  • Sistemi di fornitura di prodotti chimici a ciclo globale
  • Reti di comunicazione multi-punto per utensili
  • Monitoraggio di armadi chimici o di gas
  • Interfaccia di controllo del processo per l'integrazione di utensili tradizionali e moderni

Vantaggi principali
Vantaggi principali
  • L'architettura scalabile supporta l'espansione in base all'aumento dei requisiti di produzione
  • Compatibile con diversi protocolli basati su Ethernet e interfacce legacy
  • Funziona come sistema PLC autonomo o si integra facilmente nell'infrastruttura SCADA esistente
  • L'alimentazione, le comunicazioni e la logica di controllo ridondanti migliorano i tempi di attività e la sicurezza operativa
  • Progettato per fabs CMP, sistemi di slurry e distribuzione di prodotti chimici attraverso reti di loop globali

Opzioni
Opzioni
  • Alimentazione CA ridondante
  • Collegamenti di comunicazione ridondanti
  • Controllori logici programmabili (PLC) ridondanti per la protezione failover