Progettati per applicazioni tradizionali e di nuova generazione
Progettati per soddisfare gli esigenti requisiti delle applicazioni CMP per la produzione di semiconduttori e di altri processi chimici ad alta purezza, questi sistemi supportano un'ampia gamma di rapporti di miscelazione e tassi di reintegro, risultando ideali sia per le applicazioni tradizionali che per quelle di nuova generazione.
Progettati per garantire affidabilità e ripetibilità totali, i sistemi di miscelazione MEGA® offrono controllo automatico, monitoraggio intelligente e capacità dei serbatoi personalizzabili per soddisfare le esigenze specifiche di ogni ambiente di processo.
Ingegneria ricca di funzioni
Ingegneria ricca di funzioni
- Supporto preciso per la miscelazione di un'ampia gamma di rapporti e prodotti chimici
- Capacità di miscelazione totale da 30 a 500 litri, a seconda della configurazione del sistema
- Risciacquo, spurgo e drenaggio automatizzati della materia prima e dei circuiti di miscelazione per garantire la massima pulizia
- L'umidificatore a gorgogliatore fornisce una copertura di azoto (N₂) sul serbatoio della miscela per proteggere la purezza
- Porte di campionamento manuale per la verifica della qualità della miscela
Massimizzare i vantaggi delle prestazioni
Massimizzare i vantaggi delle prestazioni
- Monitoraggio degli scarichi per la sicurezza e il controllo del processo
- Valvola di attenuazione manuale per controllare la contropressione nella linea di ritorno del circuito di trasferimento
- Isolamento manuale, bypass, scarico e degassificazione per un migliore controllo del filtro
- Sensori capacitivi di vuoto del fusto per un'alimentazione ininterrotta del materiale
- Trasduttore di pressione per il monitoraggio in tempo reale della pressione di alimentazione della materia prima
Applicazioni multi-stabilimento
Applicazioni multi-stabilimento
- Produzione di wafer di semiconduttori
- Planarizzazione chimico-meccanica (CMP)
- Produzione fotovoltaica e microelettronica
- Rivestimenti di precisione e ricerca e sviluppo di materiali avanzati
Ingegneria ricca di funzioni
Ingegneria ricca di funzioni
- Supporto preciso per la miscelazione di un'ampia gamma di rapporti e prodotti chimici
- Capacità di miscelazione totale da 30 a 500 litri, a seconda della configurazione del sistema
- Risciacquo, spurgo e drenaggio automatizzati della materia prima e dei circuiti di miscelazione per garantire la massima pulizia
- L'umidificatore a gorgogliatore fornisce una copertura di azoto (N₂) sul serbatoio della miscela per proteggere la purezza
- Porte di campionamento manuale per la verifica della qualità della miscela