Progettati per applicazioni tradizionali e di nuova generazione
Progettati per soddisfare gli esigenti requisiti delle applicazioni CMP per la produzione di semiconduttori e di altri processi chimici ad alta purezza, questi sistemi supportano un'ampia gamma di rapporti di miscelazione e tassi di reintegro, risultando ideali sia per le applicazioni tradizionali che per quelle di nuova generazione.
Progettati per garantire affidabilità e ripetibilità totali, i sistemi di miscelazione MEGA® offrono controllo automatico, monitoraggio intelligente e capacità dei serbatoi personalizzabili per soddisfare le esigenze specifiche di ogni ambiente di processo.