Sfruttando la nostra esclusiva proposta di valore nell'abbattimento a umido, Exentec ha introdotto Encompass, la nostra prima linea di prodotti termici. Questo strumento combina due tecnologie in un'unica piattaforma utilizzando la nostra architettura proprietaria Wet-Burn-Wet. I clienti riconoscono che il pre-trattamento dei flussi di gas di processo di abbattimento consente di massimizzare i tempi di attività degli strumenti di processo, mantenendo al contempo l'efficienza del tasso di distruzione (DRE) desiderato. La combinazione di tecnologie (Wet + Burn/Wet) in un'unica piattaforma consente di rimuovere efficacemente i gas solubili in acqua prima del bruciatore. In questo modo si riducono gli NOx rimuovendo l'ammoniaca prima del bruciatore e si minimizza la formazione di particelle nei condotti delle strutture grazie alla rimozione dei precursori nella camera di abbattimento pre-bagnata. L'efficienza del tasso di distruzione (DRE) viene mantenuta senza frequenti interventi di manutenzione. Il design rivoluzionario del bruciatore e la camera di abbattimento pre-bagnata eliminano virtualmente la manutenzione del bruciatore e i materiali di consumo. Grazie alla soppressione attiva del ritorno di fiamma e alla tecnologia del bruciatore a parete umida, Encompass è lo strumento di abbattimento più sicuro sul mercato con il più basso costo totale di proprietà.

• Le camere di prelavaggio indipendenti impediscono la miscelazione di gas incompatibili.
• La tecnologia di combustione a parete umida "ingloba" la zona termica con acqua ricircolata e materiali resistenti alla corrosione.
• Le parti della camera sono protette dalla corrosione e si evita la formazione di depositi ritirando la manutenzione ordinaria del bruciatore
• La tecnologia del bruciatore multizona sfrutta i gas di processo esistenti senza diluire la fiamma principale, con conseguenti effetti sul DRE
• Il vero funzionamento "green mode" è ottenibile mediante cicli digitali di accensione e spegnimento della fiamma e del profilo termico risultante

Esempi di vantaggi applicativi:

• W-CVD - depositi di WOx creati dalla combustione di nitruri WF6 CVD
• Riduzione del 90% degli NOx mediante scrubbing a umido di NH3 EPI
• Tecnologia anti-back flash per la soppressione della fiamma e lo scarico della pressione
• Il più basso costo totale di proprietà è ottenuto grazie all'eliminazione della manutenzione ordinaria e dei materiali di consumo.
• Il massimo ritorno sul patrimonio netto e l'efficienza complessiva dell'apparecchiatura si ottengono grazie a tempi di attività e disponibilità superiori.