Il Cyclone è il principale sistema di abbattimento a umido di Exentec e comprende tutte le caratteristiche avanzate che consentono a Exentec di dichiarare che i tempi di inattività degli strumenti di processo legati al sistema sono pari a zero.

Caratteristiche vantaggiose

• Cono induttore: Mantiene la linea di scarico a una pressione leggermente negativa (un prelievo nominale di 1-2 pollici d'acqua).
• Dispositivi di ingresso del gas: Dispositivi di ingresso del gas specializzati riducono al minimo il tasso di restrizione e il pistone automatico di ingresso del gas rimuove le restrizioni senza interruzioni del processo.
• Colonna impaccata: La lucidatura finale. L'imballaggio non richiede manutenzione o sostituzione
• Seconda camera di lavaggio: Cinque spruzzi fini e ugelli ad alta velocità assicurano un'efficace rimozione delle impurità.
• Prima camera di lavaggio: Gli ugelli a getto grosso e ad alta velocità rivestono la camera e rimuovono le impurità più grosse.
• Ingresso acqua dolce: La posizione strategica aumenta l'efficienza, riduce al minimo l'uso dell'acqua ed elimina la schiuma
• Pompa: Resistente alla corrosione, ad alto rendimento e di lunga durata. Ricircola 25 GPM
• Geometria della vasca: L'esclusiva posizione dell'ingresso della pompa, dello scarico e dell'acqua dolce impedisce la formazione di schiuma e sedimenti e riduce al minimo il consumo d'acqua.
• Ingombro ridotto: 24,5 pollici per 32,5 pollici

Tipi di ingresso

• Riscaldato/CVD: La combinazione di un ingresso riscaldato internamente, rivestito in teflon e isolato con il nostro stantuffo automatico può ridurre a zero i tempi di fermo del sistema.
• Ingresso Poly Etch CVD: abbattimento dei gas altamente efficiente grazie a dispositivi di ingresso del gas brevettati che riducono al minimo le restrizioni.
• Ingresso ad alta temperatura: per flussi di gas ad alta temperatura fino a 220ºC
• Ingresso epitassiale: dispositivo di ingresso gas Exentec specializzato che riduce al minimo le restrizioni in ingresso e un pistone di ingresso gas automatizzato che estende l'intervallo di manutenzione manuale a ogni 6 mesi.
  

Configurazioni di ingresso

• Epitassiale standard: Solo 1 porta per Epitaxial e Cyclone, 2 pollici PVC slip fit
• Ciclone standard da 1 a 4 porte non riscaldate. Gli ingressi in PVC Poly da 1,5 pollici sono standard, ma possono essere modificati per incorporare adattatori flangiati KF 40 rinforzati con SS.
• Standard XL: solo 2 porte, solo non riscaldato, KF 80, SS
• Standard da 1 a 4 porte riscaldate, Cyclone da 1,5 pollici con flangia SS KF 40