Filtri AMC

I filtri AMC di Exentec sono progettati nel nostro centro tecnologico interno. Sono tutti qualificati e ottimizzati in tutti gli aspetti rilevanti, come la capacità del filtro (durata massima), la massima efficienza di rimozione (massima protezione del processo), la minima caduta di pressione (risparmio energetico), il minimo degassamento e lo sviluppo di particelle.

Perché i filtri AMC sono importanti nelle camere bianche?

La rimozione della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC) è una sfida particolare negli ambienti di produzione altamente puliti (ad esempio, la produzione di semiconduttori). Gli acidi, le basi, i condensabili e i droganti presenti nell'aria di processo possono provocare reazioni chimiche indesiderate sulla superficie dei wafer e sulle apparecchiature di processo. I filtri chimici sono utilizzati in un'ampia gamma di applicazioni per il controllo della contaminazione dell'aria ambiente e di quella circolante. Il team AMC di Exentec offre un servizio completo per testare e testare i materiali dei filtri chimici in base ai più elevati requisiti di qualità. Lo sviluppo dei materiali filtranti si concentra sulla rimozione di tutte le sostanze acide, basiche e organiche.

Classificazione dei contaminanti molecolari presenti nell'aria

I composti AMC sono tipicamente classificati in acidi, basi, condensabili (composti organici con un peso molare di 120 g/mol e un punto di ebollizione >150°C) e droganti (sostanze chimiche che possono modificare le proprietà elettriche dei wafer dei semiconduttori). Esistono anche altre sostanze che notoriamente provocano effetti deliranti (ad esempio, altre specie corrosive come H2O2, H2S o ozono).

Con le geometrie sempre più ridotte dei dispositivi dei chip semiconduttori, anche i VOC (composti organici volatili) a bassa ebollizione possono essere problematici. Exentec è in grado di consultarvi e di fornirvi una soluzione tecnica ed economica per le vostre esigenze di processo.