Filtri AMC
Filtri AMC
Exentec è uno dei pionieri nello sviluppo dei filtri AMC.
Una sfida particolare negli ambienti di produzione altamente puliti (ad esempio, la produzione di semiconduttori) è la rimozione della contaminazione molecolare aerotrasportata (AMC), come acidi, basi, condensabili e droganti dall'aria di processo. Questi possono provocare reazioni chimiche indesiderate sulla superficie dei wafer e sulle apparecchiature di processo. Essendo uno dei pionieri nello sviluppo di filtri AMC, Exentec offre una vasta gamma di prodotti di filtrazione per varie aree di applicazione, come filtri per aria di reintegro o di ritorno per soffitti di camere bianche o per la protezione di utensili e processi.
I prodotti sono progettati nel nostro centro tecnologico interno e sono qualificati e ottimizzati in tutti gli aspetti rilevanti, come la capacità del filtro (= massima durata), la massima efficienza di rimozione (= massima protezione del processo), la minima caduta di pressione (= risparmio energetico), il minimo degassamento e lo sviluppo di particelle.
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD con struttura metallica contenente una combinazione di media per la rimozione di tutte le possibili AMC della contaminazione molecolare aerodispersa. Questa combinazione di media a scambio ionico e carbone attivo impregnato unisce il meglio di tutte le tecnologie di filtraggio per rimuovere l'intera gamma di AMC in un unico alloggiamento del filtro. Questa combinazione di filtri consente un'elevata efficienza di rimozione e una lunga durata del filtro.
R-PCF-CD
I filtri R-PCF-CD sono filtri compatti per il trattamento dei composti organici volatili (VOC). Questo modello della serie PCF è dotato di una quantità massiccia di carbone attivo di alta qualità, che garantisce la massima durata del filtro e un'elevata efficienza di rimozione anche a basse concentrazioni in ingresso. Pertanto, fornisce una protezione ottimale per i processi critici dell'industria dei semiconduttori e dei pannelli piatti. Grazie a un design intelligente, la caduta di pressione viene mantenuta estremamente bassa, consentendo di risparmiare sui costi dell'elettricità.
INX-A
INX-A con struttura metallica contenente vari mezzi di scambio ionico granulari o fibrosi con un mezzo di scambio anionico per la rimozione degli acidi. Ciò consente di ottenere un'efficienza di rimozione molto elevata, nonché un'alta capacità senza pari e quindi una lunga durata effettiva del filtro. Il filtro presenta inoltre una caduta di pressione molto bassa, che contribuisce a mantenere bassi i costi energetici.
INX-B
INX-B con struttura metallica contenente vari mezzi di scambio ionico granulari o fibrosi con mezzo di scambio cationico per la rimozione delle basi. Ciò consente di ottenere un'efficienza di rimozione molto elevata, nonché un'alta capacità senza pari e quindi una lunga durata effettiva del filtro. Il filtro presenta inoltre una caduta di pressione molto bassa, che contribuisce a mantenere bassi i costi energetici.
CCF-CD
CCF-CD con struttura in polistirolo contenente media di carbone attivo con carbone altamente attivo per la rimozione dei condensabili e dei VOC.
CCF-ACD
CCF-ACD con telaio in polistirolo contenente carbone impregnato per la rimozione di acidi e condensabili / VOC. Questo filtro è un filtro a forma di V con materiale plissettato e impregnato di carbone attivo. È caratterizzato da una bassa caduta di pressione e da un elevato adsorbimento ed è utilizzato per la rimozione di contaminanti acidi. Il filtro è completamente inceneribile.
CCF-ACD
