Überholung des Systems

Quarz-Behälter

Quarz-Behälter

MEGATHERM™-Systeme verfügen über einen nahtlos geformten Quarz-Innentank, der eine kontaminationsarme und partikelfreie Umgebung bietet und so konzipiert ist, dass er Ablösungen und Siliziumnitrid-Ätzungen widersteht.

Umwälzbäder

Umwälzbäder

Center Feed™ ist das erste Umlauf- und Filterbad für die Halbleiterindustrie und wird hauptsächlich für HF-, BOE- und KOH-Anwendungen verwendet, kann aber für die meisten Säuren eingesetzt werden.
Unterwasserpumpen

Unterwasserpumpen

Die Tauchpumpen von Exentec sind ausschließlich für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie an zirkulierende, gefilterte Ätzmodule konzipiert. Unsere Pumpen werden so hergestellt, dass sie frei von Verunreinigungen bleiben und einen störungsfreien und effizienten Betrieb gewährleisten.
Temperaturregler

Temperaturregler

Die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelten temperaturgesteuerten Umwälzpumpen WHRV™ und WHO™ werden zur Temperaturregelung in gefilterten Ätzmodulen und anderen chemischen Tanks eingesetzt, bei denen Temperaturstabilität und -gleichmäßigkeit von entscheidender Bedeutung sind.

Schnell kippbarer Geschirrspüler

Schnell kippbarer Geschirrspüler

MICROCLEEN™ Schnellkippspüler verfügen über verstellbare obere Sprühschienen, externe untere Füllschienen und eine größere Entleerungstür, die ein Entleeren in Sekundenschnelle ermöglicht. Sie können vor Ort nachgerüstet werden, ohne dass Änderungen am bestehenden Rohrleitungssystem erforderlich sind.

Pumpstationen

Pumpstationen

Unsere Chemblast™-Pumpstationen wurden für Situationen entwickelt, in denen kein AWN verfügbar ist oder sich das Prozesswerkzeug nicht in der Nähe des AWN befindet. Die Pumpstationen sammeln die verbrauchte Chemie aus einem speziellen Werkzeug und pumpen sie dann zum AWN oder zu einer Sammelstelle.

Flaschenwaschanlagen

Flaschenwaschanlagen

Die Exentec Standard-Flaschenwaschstation ist für die Reinigung und Unterbringung von bis zu 8 Ein-Gallonen-Flaschen ausgelegt. Die Waschstation besteht aus zwei unabhängigen horizontalen Bodensprühschienen mit 4 vertikalen Sprühtürmen, die die Bewegung der Flaschen unterstützen.

Flaschentransportwagen

Flaschentransportwagen

Flaschenwagen sind in aktiven Arbeitsbereichen unverzichtbar, wo ein praktisches und sicheres Mittel zum Transport von Chemikalien in Flaschen benötigt wird. Neben dem beliebten 12- oder 16-Flaschen-Flaschenwagen für 1 Gallone sind verschiedene Konfigurationen erhältlich.
Exsikkator-Schränke

Exsikkator-Schränke

Wenn feuchtigkeitsempfindliche Geräte eine geschützte Umgebung benötigen, sind Exentec Exsikkatoren-Regale und -Lagerschränke unverzichtbar. Die interne Umgebung der Exsikkatorenschränke kann durch verschiedene Arten von Luft- oder Gasinjektionssystemen und Kontrollinstrumenten überwacht und/oder gesteuert werden.
Labor-Handschuhboxen

Labor-Handschuhboxen

Handschuhkästen und andere Einschlusskammern sind in kundenspezifischen Ausführungen erhältlich, die für jede Anwendung und jedes Budget geeignet sind. Das Ziel der Labor-Handschuhbox ist es, den Bediener in der kontrollierten Umgebung der Handschuhbox von den Geräten zu isolieren und zu trennen.

Quarz-Reinigungssysteme

Quarz-Reinigungssysteme

KINETICS bietet spezielle Quarzrohrreinigungssysteme für die gründliche Reinigung der Innen- und Außenfläche von Diffusionsrohren und ähnlichen Quarzprodukten. Quarzrohre verschiedener Längen und Durchmesser werden in einer Reinigungskammer platziert, die die Rohre dreht, während Säuren oder andere Reinigungsflüssigkeiten eingespritzt werden.

Arbeitstische aus Stahl

Arbeitstische aus Stahl

Exentec bietet individuell konfigurierte Stahlarbeitstische zu wettbewerbsfähigen Preisen. Neben den beliebten Edelstahltischen können auch Schränke in jeder gewünschten Größe und mit verschiedenen Oberflächenmaterialien gewählt werden.