Mit einem offenen Prozessbereich, der die Deckenkonfiguration größerer Nassbänke widerspiegelt, und einer integrierten laminaren Luftströmung minimiert das CELERA-System die Verunreinigung durch Partikel und Dämpfe - ideal für Forschung, Entwicklung und Pilotlinien.


Wesentliche Vorteile

  • Modulares Design - Vollständig anpassbare Tanklayouts und Materialkonfigurationen
  • Kontaminationskontrolle - Laminarer Luftstrom über dem Decktop für eine saubere Prozessumgebung
  • Effizienz im Labormaßstab - Manuelle und halbautomatische Optionen reduzieren Ausfallzeiten und verbessern den Durchsatz
  • Flexible Substratunterstützung - von 100 mm bis 300 mm Wafern und kundenspezifischen Substraten

CELERA®-Bänke sind die ideale manuelle oder halbautomatische Lösung für die Nassbearbeitung in der Halbleiterforschung und -entwicklung, in der Materialwissenschaft und bei anderen reinheitskritischen Anwendungen - sie vereinen Leistung, Flexibilität und Sicherheit in einem kompakten System.


Das System auf einen Blick - Hervorgehobene Merkmale

  • 100mm bis 300mm Wafer sowie kundenspezifische Substrate
  • Oberflächenvorbereitung und Beschichtungsanwendungen
  • Konfigurationsoptionen für Front- und Rückzugriff
  • Unterstützt jede chemische Substanz oder Substratgröße
  • Polypropylen, PVC - FM4910 oder Edelstahl
  • Halbautomatisch - Front-zu-Rück-Roboter oder mechanisches Rühren
  • Badumwälzung/Filtration - Hochtemperatur- und Umgebungsprozesse
  • Megaschall-/Ultraschalltanks - Entfernung von Partikeln und dicken Rückständen
  • Badverstopfung - Wasserstoffperoxid, D.I. Wasser & zusätzliche Additive
  • Mikroprozessorsteuerung oder PLC-Steuerung mit HMI-Touchscreen
  • Rollen mit Beinverstellern

Optionen

  • FM 4910-zugelassene Baumaterialien
  • Kundenspezifische Abflüsse und Zubehör für die Handhabung von Chemikalien (Karbolflaschen, Flaschen usw.)
  • FM-geprüftes C2-Brandmelde- und -Löschsystem
  • SEMI- und CE-Zeichen oder andere NRTL-Prüfung und -Zertifizierung durch Dritte
  • HEPA/ULPA-Luftfiltration

CELERA-Optionen
CELERA-Optionen

  • FM 4910 Zugelassene Baumaterialien
  • Kundenspezifische Abflüsse und Zubehör für die Handhabung von Chemikalien (Kanister, Flaschen usw.)
  • FM-geprüftes C2-Brandmelde- und -Löschsystem
  • SEMI- und CE-Zeichen oder andere NRTL-Prüfungen und -Zertifizierungen durch Dritte
  • HEPA/ULPA-Luftfiltration

CELERA Merkmale
CELERA Merkmale

100-300mm Wafer, Substrate
Oberflächenvorbereitung und Beschichtung
Zugangvon vorne und hinten möglich
Geeignet für alle Chemikalien und Substratgrößen
Polypropylen, PVC-FM4910, Edelstahl
Front-zu-Rück-Roboter oder mechanisches Rühren
Badumwälzung/Filtration
Hochtemperatur- und Umgebungsprozesse
Megaschall/Ultraschall-Partikelentfernung
Badverstopfung: Wasserstoffperoxid, H2O

CELERA Vorteile
CELERA Vorteile

Modulares Design Vollständig anpassbare Tanklayouts und Materialkonfigurationen

Kontaminationskontrolle Laminarer Luftstrom über dem Decktop sorgt für eine saubere Prozessumgebung

Effizienz im Labormaßstab Manuelle und halbautomatische Optionen reduzieren Ausfallzeiten und verbessern den Durchsatz

Flexible Unterstützung von 100mm-300mm Wafern und kundenspezifischen Substraten

CELERA Zusätzliche Merkmale
CELERA Zusätzliche Merkmale

  • Badumwälzung/Filtration - Hochtemperatur- und Umgebungsprozesse
  • Megaschall-/Ultraschalltanks - Entfernung von Partikeln und dicken Rückständen
  • Badaufstockung - Wasserstoffperoxid, D.I.-Wasser & zusätzliche Additive
  • Mikroprozessorsteuerung oder PLC-Steuerung mit HMI-Touchscreen
  • Rollen mit Beinverstellern