Aeris Automatisierte Nassbank

Unerreichte Leistung für sich entwickelnde F&E-Anforderungen

Ganz gleich, ob Sie Knoten der nächsten Generation entwickeln oder die Feinabstimmung von Ätz- und Reinigungsrezepten vornehmen, die automatisierte Aeris®-Nassbank hält mit der Innovation Schritt. Von der Substratreinigung bis zum Säure-/Base-Ätzen liefert diese Nassbank alles. Anwendungen:

• Prozessentwicklung
• Bewertung von Materialien
• Oberflächenvorbereitung
• Reinigung nach dem Ätzen

Die verfügbaren Konfigurationen umfassen vollständig geschlossene, halbautomatische und anpassbare Grundrisse, die sich Ihrem Laborlayout und Arbeitsablauf anpassen.

Die PC-basierte Steuerungsschnittstelle des Systems ermöglicht die kontinuierliche Überwachung des Wafer-Fortschritts durch die verschiedenen Prozessbäder. Dies wiederum maximiert den gesamten Wafer-Durchsatz, indem die Durchlaufzeiten jedes Prozesses überwacht und die Wafer automatisch durch die aufeinanderfolgenden Bäder transportiert werden. Jedes Waferlos wird durch einen Los-ID-Code identifiziert, und die Prozessrezepte werden automatisch über das eingebaute PC-basierte Windows-Steuerungssystem in die CPU geladen. Das Datenbank- und Überwachungssystem kann über eine SECS II-Schnittstelle zur Echtzeitüberwachung und Datenprotokollierung an Unternehmenssysteme angeschlossen werden.

Aeris® Automatisierte Nassbänke: Für zwei oder mehr Prozessbäder

Die Aeris-Nassbankautomatisierung ist für Prozesse mit zwei oder mehr Prozessbehältern konzipiert. Das Transfersystem kann entweder als lineare Vorder-zu-Rück- oder Links-zu-Rechts-Konfiguration oder als 3-Achsen-System eingerichtet werden, was komplexere Transfers zwischen Bädern auf kleinerer Fläche ermöglicht. Die Transfersysteme sind für die Aufnahme von Einzel- oder Doppel-Waferkassetten bis zu 200 mm oder einer einzelnen 300-mm-Waferkassette ausgelegt. Das Steuerungssystem umfasst eine SPS und eine farbige Touchscreen-Schnittstelle (HMI). Die SPS verfügt über einen mehrstufigen Passwortschutz und kann mehrere Prozessrezepte speichern, während die HMI über mehrere Bildschirme für Wartung, Rezeptureinstellung, Tankeinrichtung, Betrieb und Alarmstatus verfügt.

Das System auf einen Blick: hervorgehobene Funktionen

• Flexible Konfigurationen zur Unterstützung jeder nasschemischen Anwendung
• Unterstützt sowohl die Einzelwafer- als auch die Stapelverarbeitung
• 100 mm bis 300 mm Wafer sowie kundenspezifische Substrate
• Lineare oder mehrachsige Roboterkonfigurationen
• Mehrere Be-/Entladekonfigurationen
• Offene oder vollständig geschlossene Umgebungsoptionen
• Badumwälzung/Filtration
• Beheizte, gekühlte oder Umgebungsanwendungen
• Megaschall- und/oder Ultraschallwannen
• Optionen für chemische Überwachung/Messtechnik
• Konzentration, Leitfähigkeit, pH-Wert, Temperatur, Partikelzahl usw.
• Bulk-Verteilung oder On-Board-Dosierung
• Badverstopfung - Wasserstoffperoxid, D.I.-Wasser & zusätzliche Additive
• Trocknung mit Oberflächenspannungsgradienten
• miSCADA-Steuerung - Integriert PLCs, Modbus, OPC/OPC UA-Server, MQTT und SECS/GEM

Optionen

• FM 4910-zugelassene Baumaterialien.
• FM-zugelassenes CO2-Brandmelde- und -unterdrückungssystem
• SEMI- und CE-Kennzeichnung oder andere NRTL-Prüfung und Zertifizierung durch Dritte
• HEPA/ULPA-Luftfilterung
• Beleuchtungseinrichtung
• Windows-basierter PC mit Vernetzungsoptionen
• SECS/GEM oder Software für die Anlagenverwaltung verfügbar