MEGA SA100 Merkmale
MEGA SA100 Merkmale
- Online, quantitative Konzentrationsüberwachung
- Bis zu 6 Slipstreams (gleiche Chemie) für die Mehrpunktanalyse mehrerer Systeme
- Programmierbare Rezepte für Probenahme, Spülung und Auffüllung mit Bestandteilen Spezifische Assays und elektrochemische Sensoren für genaue, gezielte Messungen
- Eingebaute automatische Spülung/Spülung mit Di- oder Peroxid mit manueller Übersteuerung
- Druckbeaufschlagte Probenahme aus Werkzeugquellen
- Getrennte chemische und elektrische Abteilungen
- Notabschaltung der Maschine (E.M.O.), akustische/visuelle Alarme und Leckerkennung
- Einhaltung von SEMI S2 und Überprüfung der Systemabsaugung
MEGA SA100 Vorteile
MEGA SA100 Vorteile
- Erhöhen Sie die Produktausbeute durch genaue Einhaltung der chemischen Zusammensetzung des Prozesses
- Überwachung des chemischen Abbaus während des gesamten Produktlebenszyklus
- Schnelle Erkennung und Korrektur von Prozessschwankungen
- Minimierung des Risikos von Chargenverlusten durch Echtzeit-Einblick in die chemische Zusammensetzung
- 99,9 % Systemverfügbarkeit gewährleisten eine zuverlässige Betriebszeit
- Steuerung direkt über das Blend-System (keine externe SPS erforderlich)
MEGA SA100 Anwendungen
MEGA SA100 Anwendungen
- Halbleiter-Fertigung
- Post-CMP-Aufschlämmungsüberwachung
- Solar/PV-Herstellung
- Feststoffarme CMP-Prozesse
- LED- und Siliziumkarbid (SiC)-Produktion
- Luft- und Raumfahrt & ECD (Elektrochemische Abscheidung)
- IoT-Geräteherstellung Serie SA100 - Hochpräzise Slurry-Titration und chemische Analytik
Merkmale der MEGA® SA200-Serie
Merkmale der MEGA® SA200-Serie
- Partikelgrößenerkennung von 0,2μm bis 20μm (konfigurationsabhängig)
- Einstellbare Partikelgrößeneinteilung für granulare Daten
- Unterstützt bis zu 1.000.000:1 Verdünnung (zweistufig)
- Mehrere Sensoroptionen und serieninterne Konfigurationen zur Überprüfung
- Langfristige Überwachung von Chargen und Filterleistung
- Akzeptiert Sammelproben oder kontinuierliche Probenahme
- Manuelle Verdünnungs- und Spülungssteuerung mit DI- oder chemischen Optionen
- Konstruiert aus chemikalienbeständigem PFA-Kunststoff und Durchflussmessern aus Edelstahl 316
- Optionale FM 4910 oder WPP-konforme Gehäuse