Optimieren Sie Ihre Slurry-Verteilung mit MEGA®

MEGA®-Verteilersysteme sind fortschrittliche, skalierbare Lösungen für die gemischte Slurry-Verteilung in Halbleiter- und CMP-Anwendungen. MEGA®-Verteilersysteme bieten eine präzise und konsistente Slurry-Verteilung für eine Reihe von chemisch-mechanischen Planarisierungswerkzeugen (CMP) und sind auf Präzision, Flexibilität und Integration in CMP-Slurry-Verarbeitungsumgebungen ausgelegt - egal, ob es sich um neue Installationen oder die Nachrüstung bestehender Fabriken handelt.

Die wichtigsten Vorteile
Die wichtigsten Vorteile

  • Zuverlässige Leistung: Entwickelt für kleine bis mittlere CMP-Slurry-Dosierungen, die einen zuverlässigen Betrieb und Werkzeugunterstützung gewährleisten
  • Skalierbare Konfiguration: Das modulare Design ermöglicht die Anpassung an eine bestimmte Anzahl globaler Slurry-Loops - ideal für wachsende oder sich verändernde Fertigungsumgebungen
  • Kosteneffizientes Design bietet eine kostengünstige Grundfläche ohne Abstriche bei Qualität oder Leistung, was es zu einer wirtschaftlichen Wahl für Fabriken und Reinräume macht

Bediente Branchen
Bediente Branchen

  • Halbleiterfertigung
  • Post-CMP-Verarbeitung
  • Solar/Photovoltaik (PV)
  • Feststoffarme CMP-Anwendungen
  • LED-Herstellung
  • Herstellung von Siliziumkarbid (SiC) / IoT-Geräten

DIspense-Kanäle
DIspense-Kanäle

Der MEGA® SD1000 wurde speziell für die Verteilung von kolloidalen und pyrogenen Schlämmen an Polieranlagen mit kleinen und mittleren Volumina entwickelt. Jeder Dosierkanal ist mit einem eigenen:

  • Verteilertank
  • Schlamm-Pumpe
  • Filtrationseinheit
  • Komponenten des globalen Kreislaufs

Der SD1000 wird in der Fabrik installiert und ist für die Abgabe von Schlamm an Polierer in einem Radius von 100 Fuß optimiert. Der Druck am Verwendungsort (POE) liegt zwischen 20 und 30 psi für einen stabilen und effizienten Schlammfluss.

Hauptmerkmale
Hauptmerkmale

  • Automatisches Spülen, Entleeren und Entleeren von Roh- und Mischschlammkreisläufen
  • Kontinuierliche Tankumwälzung zur Aufrechterhaltung der Güllegleichmäßigkeit
  • 56-Liter-Tanks mit konischem Boden aus natürlichem Polypropylen (PP) Luft- und Gülle-T-Stücke mit kapazitiver Gassensorik zur Entfernung von Lufteinschlüssen in globalen Kreisläufen
  • Integrierter Blasenbefeuchter mit Stickstoff (N₂) für die Tankbefeuchtung
  • H₂O₂-Überwachung im Dosierkreislauf
  • Abgasdifferenzdruckschalter/-anzeiger
  • Manuelle Probenahmeanschlüsse für jeden Suspensionskreislauf