Entwickelt für alte und neue Anwendungen
Diese Systeme wurden entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen von CMP-Anwendungen in der Halbleiterfertigung und anderen hochreinen chemischen Prozessen zu erfüllen. Sie unterstützen eine breite Palette von Mischverhältnissen und Nachfüllraten und sind damit ideal für alte und neue Anwendungen.
Die auf absolute Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegten MEGA®-Mischsysteme bieten eine automatische Steuerung, intelligente Überwachung und anpassbare Tankkapazitäten, um die spezifischen Anforderungen jeder Prozessumgebung zu erfüllen.