Entwickelt für alte und neue Anwendungen
Diese Systeme wurden entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen von CMP-Anwendungen in der Halbleiterfertigung und anderen hochreinen chemischen Prozessen zu erfüllen. Sie unterstützen eine breite Palette von Mischverhältnissen und Nachfüllraten und sind damit ideal für alte und neue Anwendungen.
Die auf absolute Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegten MEGA®-Mischsysteme bieten eine automatische Steuerung, intelligente Überwachung und anpassbare Tankkapazitäten, um die spezifischen Anforderungen jeder Prozessumgebung zu erfüllen.
Leistungsstarke Technik
Leistungsstarke Technik
- Präzise Mischunterstützung für eine breite Palette von Verhältnissen und Chemikalien
- Gesamtmischkapazitäten von 30 bis 500 Litern, je nach Systemkonfiguration
- Automatisches Spülen, Entlüften und Entleeren der Rohmaterial- und Mischkreisläufe für maximale Sauberkeit
- Befeuchter im Bubbler-Stil sorgt für eine Stickstoffdecke (N₂) über dem Mischtank zum Schutz der Reinheit
- Manuelle Probenahmeanschlüsse zur Überprüfung der Mischungsqualität
Maximieren Sie die Leistungsvorteile
Maximieren Sie die Leistungsvorteile
- Abgasüberwachung für Sicherheit und Prozesskontrolle
- Manuelles Dämpfungsventil zur Kontrolle des Gegendrucks in der Rücklaufleitung der Transferschleife
- Manuelle Absperr-, Bypass-, Ablass- und Entgasungsfunktionen für eine verbesserte Filtersteuerung
- Kapazitive Trommelleerlaufsensoren für eine unterbrechungsfreie Materialzufuhr
- Druckwandler für die Echtzeitüberwachung des Drucks in der Rohmaterialversorgung
Multi-Facility-Anwendungen
Multi-Facility-Anwendungen
- Herstellung von Halbleiterwafern
- Chemisch-mechanische Planarisierung (CMP)
- Photovoltaik und mikroelektronische Fertigung
- Präzisionsbeschichtungen und fortschrittliche Materialforschung und -entwicklung
Leistungsstarke Technik
Leistungsstarke Technik
- Präzise Mischunterstützung für eine breite Palette von Verhältnissen und Chemikalien
- Gesamtmischkapazitäten von 30 bis 500 Litern, je nach Systemkonfiguration
- Automatisches Spülen, Entlüften und Entleeren der Rohmaterial- und Mischkreisläufe für maximale Sauberkeit
- Befeuchter im Bubbler-Stil sorgt für eine Stickstoffdecke (N₂) über dem Mischtank zum Schutz der Reinheit
- Manuelle Probenahmeanschlüsse zur Überprüfung der Mischungsqualität