
Die Entfernung luftgetragener molekularer Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) ist eine besondere Herausforderung in hochreinen Produktionsumgebungen (z. B. in der Halbleiterfertigung). Säuren, Basen, kondensierbare Stoffe und Dotierstoffe in der Prozessluft können zu unerwünschten chemischen Reaktionen auf der Waferoberfläche und den Prozessanlagen führen. Die AMC-Filter von Exentec werden in unserem eigenen Technologiezentrum entwickelt. Sie sind in allen relevanten Aspekten qualifiziert und optimiert, wie z.B. Filterkapazität (maximale Lebensdauer), höchste Abscheideleistung (maximaler Prozessschutz), niedrigster Druckabfall (Energieeinsparung), geringste Ausgasung und Partikelentwicklung.
Cleanroom Envelope modulare Reinraumpakete von Exentec
Präzise entwickelt und leistungsfähig gebaut, bieten die Cleanroom Envelope Lösungen von Exentec eine vollständig integrierte, kontaminationskontrollierte Umgebung von Grund auf. Entdecken Sie, wie unsere modularen Systeme eine nahtlose, konforme und zukunftssichere Reinrauminfrastruktur schaffen.
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