AMC-Filter
AMC-Filter
Exentec ist einer der Pioniere in der Entwicklung von AMC-Filtern
Eine besondere Herausforderung in hochreinen Produktionsumgebungen (z. B. in der Halbleiterfertigung) ist die Entfernung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) wie Säuren, Basen, kondensierbare Stoffe und Dotierstoffe aus der Prozessluft. Diese können zu unerwünschten chemischen Reaktionen auf der Waferoberfläche und der Prozessausrüstung führen. Als einer der Pioniere in der Entwicklung von AMC-Filtern bietet Exentec eine umfassende Auswahl an verschiedenen Filtrationsprodukten für unterschiedliche Anwendungsbereiche, wie z.B. Zuluft- oder Rückluftfilter für Reinraumdecken oder für den Werkzeug- und Prozessschutz.
Die Produkte werden im hauseigenen Technologiezentrum entwickelt und in allen relevanten Aspekten wie Filterkapazität (= maximale Standzeit), höchster Abscheidegrad (= maximaler Prozessschutz), niedrigster Druckverlust (= Energieeinsparung), geringste Ausgasung und Partikelentwicklung qualifiziert und optimiert.
INX/PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD mit Metallrahmen enthält eine Medienkombination zur Entfernung aller möglichen luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC). Diese Kombination von Ionenaustauschmedien mit imprägniertem Aktivkohlematerial vereint die besten aller Filtertechnologien, um das gesamte Spektrum der AMC in einem Filtergehäuse zu entfernen. Dieser Kombinationsfilter ermöglicht eine hohe Abscheideleistung und eine lange Nutzungsdauer des Filters.
R-PCF-CD
R-PCF-CD sind kompakte Filter für die Behandlung von flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs). Dieses Modell der PCF-Baureihe ist mit einer massiven Menge an hochwertigem Aktivkohlemedium ausgestattet, was zu einer möglichst langen Filterstandzeit und hohen Abscheidegraden auch bei niedrigen Eingangskonzentrationen führt. Damit bietet es optimalen Schutz für die kritischen Prozesse in der Halbleiter- und Flachbildschirmindustrie. Durch das intelligente Design wird der Druckabfall extrem niedrig gehalten, was hilft, Stromkosten zu sparen.
INX-A
INX-A mit Metallrahmen, der verschiedene körnige oder faserige Ionenaustauschermedien mit Anionenaustauschermedium zur Entfernung von Säuren enthält. Dies führt zu einer sehr hohen Abscheideleistung sowie zu einer unübertroffen hohen Kapazität und damit zu einer langen effektiven Filterstandzeit. Der Filter zeichnet sich außerdem durch einen sehr geringen Druckabfall aus, was dazu beiträgt, die Energiekosten niedrig zu halten.
INX-B
INX-B mit Metallrahmen enthält verschiedene körnige oder faserige Ionenaustauschermedien mit Kationenaustauschermedium zur Entfernung von Basen. Dies führt zu einer sehr hohen Abscheideleistung sowie zu einer unübertroffen hohen Kapazität und damit zu einer langen effektiven Filterstandzeit. Der Filter zeichnet sich außerdem durch einen sehr geringen Druckabfall aus, was dazu beiträgt, die Energiekosten niedrig zu halten.
CCF-CD
CCF-CD mit Polystyrolrahmen, der Aktivkohlemedien mit hoch aktivierter Kohle zur Entfernung von kondensierbaren Stoffen bzw. VOCs enthält.
CCF-ACD
CCF-ACD mit Polystyrolrahmen und imprägnierter Aktivkohle zur Entfernung von Säuren sowie kondensierbaren Stoffen / VOCs. Dieser Filter ist ein V-förmiger Filter mit plissiertem, imprägniertem Aktivkohlematerial. Er zeichnet sich durch einen geringen Druckabfall und eine hohe Adsorption aus und wird zur Entfernung von sauren Verunreinigungen eingesetzt. Der Filter ist vollständig veraschbar.
CCF-ACD
