AMC-Filter | Produkte │ Exentec

Die Entfernung luftgetragener molekularer Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) ist eine besondere Herausforderung in hochreinen Produktionsumgebungen (z. B. in der Halbleiterfertigung). Säuren, Basen, kondensierbare Stoffe und Dotierstoffe in der Prozessluft können zu unerwünschten chemischen Reaktionen auf der Waferoberfläche und den Prozessanlagen führen. Die AMC-Filter von Exentec werden in unserem eigenen Technologiezentrum entwickelt. Sie sind in allen relevanten Aspekten qualifiziert und optimiert, wie z.B. Filterkapazität (maximale Lebensdauer), höchste Abscheideleistung (maximaler Prozessschutz), niedrigster Druckabfall (Energieeinsparung), geringste Ausgasung und Partikelentwicklung.

Cleanroom Envelope modulare Reinraumpakete von Exentec
Präzise entwickelt und leistungsfähig gebaut, bieten die Cleanroom Envelope Lösungen von Exentec eine vollständig integrierte, kontaminationskontrollierte Umgebung von Grund auf. Entdecken Sie, wie unsere modularen Systeme eine nahtlose, konforme und zukunftssichere Reinrauminfrastruktur schaffen.

Sprechen Sie mit uns über unsere Reinraumlösungen: +49 711 8804 8000

CCF

CCF mit Polystyrolrahmen und imprägniertem Aktivkohlemedium zur Entfernung von Basen sowie kondensierbaren Stoffen / VOC's. Dieser Filter ist ein V-förmiger Filter mit plissiertem, imprägniertem Aktivkohlematerial. Er zeichnet sich durch einen geringen Druckverlust und eine hohe Adsorption aus und wird zur Entfernung von alkalischen Verunreinigungen eingesetzt. Der Filter ist vollständig veraschbar.

INX

INX mit Metallrahmen enthält verschiedene körnige oder faserige Ionenaustauschermedien mit Anionenaustauschermedium zur Entfernung von Säuren. Dies führt zu einer sehr hohen Abscheideleistung sowie zu einer unübertroffen hohen Kapazität und damit zu einer langen effektiven Filterstandzeit. Der Filter zeichnet sich außerdem durch einen sehr geringen Druckabfall aus, was dazu beiträgt, die Energiekosten niedrig zu halten.

IXV-AB

IXV-AB mit Polystyrolrahmen, der verschiedene Granulate oder faserige Ionenaustauschermedien enthält. Der IXV-AB ist ein AMC-Filter zur hocheffizienten Entfernung von Säuren und Laugen. Er ist mit den von Exentec entwickelten faserförmigen An- und Kationenaustauschermaterialien ausgestattet. Der Filter zeichnet sich durch eine sehr hohe Entfernungseffizienz für die Zielsubstanzen aus.