Die AMC-Filter von Exentec werden in unserem eigenen Technologiezentrum entwickelt. Sie werden in allen relevanten Aspekten wie Filterkapazität (maximale Lebensdauer), höchste Abscheideleistung (maximaler Prozessschutz), niedrigster Druckverlust (Energieeinsparung), geringste Ausgasung und Partikelentwicklung qualifiziert und optimiert.
Warum sind AMC-Filter in Reinräumen wichtig?
Die Entfernung luftgetragener molekularer Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) ist eine besondere Herausforderung in hochreinen Produktionsumgebungen (z. B. in der Halbleiterfertigung). Säuren, Basen, kondensierbare Stoffe und Dotierstoffe in der Prozessluft können zu unerwünschten chemischen Reaktionen auf der Waferoberfläche und den Prozessanlagen führen. Chemische Filter werden in einer Vielzahl von Anwendungen zur Kontaminationskontrolle der Umgebungs- und Umluft eingesetzt. Das AMC-Team von Exentec bietet einen umfassenden Service zum Testen und Prüfen von chemischen Filtermaterialien für höchste Qualitätsanforderungen. Die Entwicklung von Filtermaterialien ist auf die Entfernung aller sauren, basischen und organischen Substanzen ausgerichtet.
Klassifizierung von luftgetragenen molekularen Verunreinigungen
AMC-Verbindungen werden typischerweise in Säuren, Basen, kondensierbare Stoffe (organische Verbindungen mit einem Molgewicht von 120 g/mol und einem Siedepunkt von >150°C) und Dotierstoffe (Chemikalien, die die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterwafern verändern können) unterteilt. Es gibt auch andere Stoffe, von denen bekannt ist, dass sie delirierende Wirkungen hervorrufen (z. B. andere korrosive Spezies wie H2O2, H2S oder Ozon).
Bei den immer kleiner werdenden Bauteilgeometrien von Halbleiterchips können sogar niedrig siedende VOCs (flüchtige organische Verbindungen) problematisch sein. Exentec kann Sie beraten und eine technische und wirtschaftliche Lösung für Ihre Prozessanforderungen liefern.
CCF
CCF
CCF mit Polystyrolrahmen und imprägniertem Aktivkohlemedium zur Entfernung von Basen sowie kondensierbaren Stoffen / VOC's. Dieser Filter ist ein V-förmiger Filter mit plissiertem, imprägniertem Aktivkohlematerial. Er zeichnet sich durch einen geringen Druckverlust und eine hohe Adsorption aus und wird zur Entfernung von alkalischen Verunreinigungen eingesetzt. Der Filter ist vollständig veraschbar.
INX
INX
INX mit Metallrahmen enthält verschiedene körnige oder faserige Ionenaustauschermedien mit Anionenaustauschermedium zur Entfernung von Säuren. Dies führt zu einer sehr hohen Abscheideleistung sowie zu einer unübertroffen hohen Kapazität und damit zu einer langen effektiven Filterstandzeit. Der Filter zeichnet sich außerdem durch einen sehr geringen Druckabfall aus, was dazu beiträgt, die Energiekosten niedrig zu halten.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB mit Polystyrolrahmen, der verschiedene Granulate oder faserige Ionenaustauschermedien enthält. Der IXV-AB ist ein AMC-Filter zur hocheffizienten Entfernung von Säuren und Laugen. Er ist mit den von Exentec entwickelten faserförmigen An- und Kationenaustauschermaterialien ausgestattet. Der Filter zeichnet sich durch eine sehr hohe Entfernungseffizienz für die Zielsubstanzen aus.
CCF
CCF
CCF mit Polystyrolrahmen und imprägniertem Aktivkohlemedium zur Entfernung von Basen sowie kondensierbaren Stoffen / VOC's. Dieser Filter ist ein V-förmiger Filter mit plissiertem, imprägniertem Aktivkohlematerial. Er zeichnet sich durch einen geringen Druckverlust und eine hohe Adsorption aus und wird zur Entfernung von alkalischen Verunreinigungen eingesetzt. Der Filter ist vollständig veraschbar.
