يتراوح طيف أدوات Exentec لتحضير الأسطح والمقاعد الرطبة من مناضد تحضير الأسطح من Exentec من الغمر على دفعات إلى الرش أو مناضد الرقاقة الواحدة. يمكن تهيئة جميع المقاعد المبللة من الأنظمة اليدوية إلى الأنظمة متعددة المهام المؤتمتة بالكامل.
تم تصميم المقاعد الرطبة لدينا من أجل قابلية التكرار والحجم، مع التركيز على العمليات التي تحتوي على خزانين أو أكثر من خزانات المعالجة. صُممت محطات المعالجة الرطبة لدينا وفقًا لمعايير SEMI الحالية، وهي متوفرة في تكوينات مؤتمتة بالكامل وشبه مؤتمتة ويدوية.
- وحدات FEOL، وBEOL، ووحدات التغليف، ووحدات التغليف المتقدمة، وطلاء أنماط MEMS، والترسيب المغناطيسي، والحفر الكهربائي، والترسيب الإلكتروني
- التنظيف، وشرائح المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
- قابل للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
- أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
- رقاقات السيليكون من 100 مم إلى 450 مم، والمواد من الفئة III-V، والأقنعة الضوئية، والزجاج، والفتحات الكبيرة
- ركائز مخصصة
منضدة الترطيب الآلي من إيريس
تم تصميم منضدة Aeris® الآلية الرطبة المؤتمتة خصيصًا لتلبية المتطلبات الصارمة للبحث والتطوير في مجال أشباه الموصلات، حيث تجمع بين المعالجة عالية الأداء والمرونة والسلامة التي تتطلبها المعامل الحديثة.
CELERA® manual wet benches
CELERA® manual wet benches are engineered to deliver high-performance wet processing at a lab scale, offering modularity and robust design inspired by fully automated systems.
أنظمة الإمداد بالمواد الكيميائية وتحديد الجرعات
صُممت وحدات نقل المواد الكيميائية وتوزيعها القابلة للتكوين (CTDM) الخاصة بنا لتوصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء، والجرعات الدقيقة، والتوزيع الآمن على أدوات الإنتاج - مما يجعلها مثالية لتصنيع أشباه الموصلات وبيئات الغرف النظيفة وغيرها من تطبيقات العمليات عالية النقاء.
شفاطات الدخان
قم بحماية بيئة مختبرك باستخدام شفاطات الأبخرة عالية الأداء من Exentec، المصممة للتطبيقات المعملية حيث يكون احتواء الأبخرة الخطرة أمرًا بالغ الأهمية.
معدات دعم العمليات الرطبة
في Exentec، نحن متخصصون في تصميم أنظمة تحضير الأسطح حيث تتوافق متطلبات التطبيق وأداء المعدات بسلاسة.