تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقاقات المؤتمتة بالكامل.
يمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة. نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:
- الرقائق (100 مم - 300 مم)
- مواد أشباه الموصلات III-V
- الأقنعة الضوئية
- تركيبات الزجاج والكوارتز
- مشعبات مخصصة وناقلات متخصصة
يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.
- التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
- قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
- أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير
يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:
- الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
- رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
- تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2
يمكن تكوين أدوات العمليات لدينا مع مجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:
- أنظمة مناولة المواد الكيميائية
- عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
- العربات المدمجة لجمع النفايات
- محطات الرفع لتحييد النفايات
- أجهزة تحسين العملية
- أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
- التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
- خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
- غسالات التفريغ السريع (QDR)
- أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ
أنظمة Exentec لتحضير الأسطح قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.