وبفضل منطقة المعالجة المفتوحة التي تعكس التكوين السطحي للمناضد الرطبة الأكبر حجمًا وتدفق الهواء الصفحي المدمج، يقلل نظام CELERA من تلوث الجسيمات والأبخرة - مما يجعله مثاليًا لبيئات البحث والتطوير وخطوط التشغيل التجريبي.
المزايا الرئيسية
- تصميم معياري - تخطيطات خزانات وتكوينات مواد قابلة للتخصيص بالكامل
- التحكم في التلوث - تدفق هواء رقائقي فوق سطح السطح لتوفير بيئة معالجة نظيفة
- كفاءة على نطاق المختبر - تقلل الخيارات اليدوية وشبه الآلية من وقت التعطل وتحسن الإنتاجية
- دعم الركيزة المرنة - من رقائق 100 مم إلى 300 مم والركائز المخصصة
CELERA® benches are the ideal manual or semi-automated wet processing solution for semiconductor R and D, materials science and other clean-critical applications, balancing performance, flexibility and safety in one compact system.
النظام في لمحة سريعة - الميزات البارزة
- رقائق 100 مم إلى 300 مم بالإضافة إلى ركائز مخصصة
- إعداد السطح وتطبيقات الطلاء
- خيارات تكوين الوصول الأمامي والخلفي
- دعم أي حجم كيميائي أو ركيزة
- بولي بروبيلين، بولي كلوريد الفينيل - FM4910 أو الفولاذ المقاوم للصدأ
- شبه آلي - روبوتات من الأمام إلى الخلف أو التقليب الميكانيكي
- إعادة تدوير/ترشيح الحمام - عمليات درجة الحرارة العالية والعمليات المحيطة
- خزانات الميجاسونيك/الموجات فوق الصوتية - إزالة الجسيمات والبقايا السميكة
- تنقيط الحمام - بيروكسيد الهيدروجين وماء D.I. والمواد المضافة الإضافية
- عناصر تحكم قائمة على المعالجات الدقيقة أو عناصر تحكم قائمة على PLC مع شاشة لمس HMI
- عجلات مع أدوات ضبط الأرجل
الخيارات
- مواد بناء معتمدة من FM 4910
- مصارف مخصصة وملحقات مناولة المواد الكيميائية (قوارير وزجاجات وغيرها)
- نظام الكشف عن الحرائق وإطفاء الحريق C2 المختبَر من قِبل FM
- اختبار وشهادة SEMI وعلامة CE أو غيرها من اختبارات وشهادات NRTL من طرف ثالث
- تنقية الهواء HEPA/ULPA
مزايا CELERA
مزايا CELERA
تصميم معياري تخطيطات خزان وتكوينات مواد قابلة للتخصيص بالكامل
التحكم في التلوث تدفق الهواء الرقائقي فوق سطح السطح لتوفير بيئة معالجة نظيفة
كفاءة على نطاق المختبر تقلل الخيارات اليدوية وشبه الآلية من وقت التعطل وتحسن الإنتاجية
دعم مرن من رقائق 100 مم إلى 300 مم وركائز مخصصة
ميزات CELERA
ميزات CELERA
الرقائق والركائز مقاس 100-300 مم
تحضير السطح والطلاء
خيارات الوصولالأمامية والخلفية
دعم أي حجمكيميائي أو ركيزة
البولي بروبلين، PVC-FM4910، الفولاذ المقاوم للصدأ
روبوتات من الأمام إلى الخلف أو التقليب الميكانيكي
إعادة تدوير/ترشيح الحمام
عملياتدرجة حرارة عالية + عمليات محيطة
إزالة الجسيماتبالميجاسونيك/الموجات فوق الصوتية
تنقيط الحمام: بيروكسيد الهيدروجين، H2O
خيارات CELERA
خيارات CELERA
- مواد البناء المعتمدة FM 4910
- مصارف مخصصة وملحقات مناولة المواد الكيميائية (قوارير وزجاجات وغيرها)
- نظام الكشف عن الحرائق وإطفاء الحريق C2 الخاضع لاختبار FM
- اختبار وشهادة SEMI وعلامة CE أو غيرها من اختبارات وشهادات NRTL من طرف ثالث
- تنقية الهواء HEPA/ULPA
ميزات CELERA الإضافية
ميزات CELERA الإضافية
- إعادة تدوير/ترشيح الحمام - العمليات ذات درجة الحرارة العالية والعمليات المحيطة
- خزانات ميجاسونيك/خزانات فوق صوتية - إزالة الجسيمات والبقايا السميكة
- إعادة تدوير الحمام - بيروكسيد الهيدروجين وماء D.I. والمواد المضافة الإضافية
- عناصر تحكم قائمة على المعالجات الدقيقة أو عناصر تحكم قائمة على PLC مع شاشة لمس HMI
- عجلات مع أدوات ضبط الأرجل