منضدة الترطيب الآلي من إيريس

أداء لا مثيل له لتلبية احتياجات البحث والتطوير المتطورة

سواء كنت تعمل على تطوير الجيل التالي من العقد أو ضبط وصفات الحفر والتنظيف بشكل دقيق، فإن منضدة Aeris® الرطبة الآلية مصممة لمواكبة الابتكار. بدءًا من تنظيف الركيزة إلى الحفر الحمضي/القاعدي، فإن هذه المنضدة الرطبة تقدم لك كل ما هو مطلوب. التطبيقات:

• تطوير العمليات
• تقييم المواد
• تحضير السطح
• التنظيف اللاحق للرسم

تشمل التكوينات المتوفرة تكوينات مغلقة بالكامل وشبه آلية وقابلة للتخصيص لتناسب تخطيط مختبرك وسير العمل.

تتيح واجهة التحكم المستندة إلى الكمبيوتر الشخصي للنظام المراقبة المستمرة لتقدم الرقاقة من خلال أحواض المعالجة المختلفة. وهذا بدوره يزيد من الإنتاجية الإجمالية للرقاقة من خلال مراقبة أوقات التذمر لكل عملية ونقل الرقائق تلقائيًا عبر الأحواض المتتالية. يتم تحديد كل دفعة رقاقة بواسطة رمز معرف الدفعة ويتم تنزيل وصفات المعالجة تلقائيًا إلى وحدة المعالجة المركزية عبر نظام التحكم المدمج المستند إلى الكمبيوتر الشخصي الذي يعمل بنظام Windows. يمكن توصيل قاعدة البيانات ونظام المراقبة بأنظمة المؤسسة عبر واجهة SECS II للمراقبة في الوقت الفعلي وتسجيل البيانات.

المقاعد الرطبة المؤتمتة من Aeris®: لاثنين أو أكثر من حمامات المعالجة

تم تصميم أتمتة منضدة الرطب Aeris للعمليات التي تحتوي على حاويتين أو أكثر من حاويات المعالجة. يمكن إعداد نظام النقل إما كتكوين خطي من الأمام إلى الخلف أو من اليسار إلى اليمين أو كنظام ثلاثي المحاور يسمح بنقل أكثر تعقيدًا بين الأحواض في مساحة أصغر. أنظمة النقل مصممة لاستيعاب كاسيتات رقاقة واحدة أو مزدوجة حتى 200 مم أو كاسيت رقاقة واحدة 300 مم. يشتمل نظام التحكم على وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة (PLC) وواجهة شاشة ملونة تعمل باللمس (HMI). يحتوي نظام التحكم المنطقي القابل للبرمجة القابلة للبرمجة (PLC) على حماية متعددة المستويات بكلمة مرور ويمكنه تخزين وصفات عملية متعددة بينما تحتوي واجهة HMI على شاشات متعددة للصيانة وإعداد الوصفة وإعداد الخزان والتشغيل وحالة الإنذار.

لمحة سريعة عن النظام: الميزات البارزة

• تكوينات مرنة لدعم أي تطبيق كيميائي رطب
• يدعم كلاً من الرقاقة الواحدة والمعالجة على دفعات
• رقائق مقاس 100 مم إلى 300 مم بالإضافة إلى ركائز مخصصة
• تكوينات روبوت خطية أو متعددة المحاور
• تكوينات تحميل/تفريغ متعددة
• خيارات البيئة المفتوحة أو المغلقة بالكامل
• إعادة تدوير/ترشيح الحمام
• تطبيقات ساخنة أو مبردة أو محيطة
• خزانات ميجاسونيك و/أو خزانات فوق صوتية
• خيارات المراقبة الكيميائية / القياس الكيميائي
• التركيز، التوصيلية، الأس الهيدروجيني، درجة الحرارة، عدد الجسيمات، إلخ.
• التوزيع بالجملة أو التوزيع على متن الطائرة
• التنقيط في حوض الاستحمام - بيروكسيد الهيدروجين وماء D.I. والمواد المضافة الإضافية
• تجفيف تدرج التوتر السطحي
• عناصر تحكم miSCADA - تدمج أجهزة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة (PLCs) و Modbus وخوادم OPC/OPC UA و MQTT و SECS/GEM

الخيارات

• مواد بناء معتمدة من FM 4910
• نظام معتمد من FM للكشف عن حرائق ثاني أكسيد الكربون وإخمادها
• علامة SEMI وعلامة CE أو غيرها من اختبارات وشهادات الطرف الثالث NRTL
• تنقية الهواء HEPA/ULPA
• جهاز إضاءة
• كمبيوتر شخصي يعمل بنظام ويندوز مع خيارات الربط الشبكي
• يتوفر نظام SECS/GEM أو برنامج من نوع إدارة الأصول