CELERA 系统采用开放式工艺区，与大型湿式工作台的台面配置和集成层流气流相同，最大程度地减少了颗粒和烟尘污染，是研究、开发和中试线环境的理想选择。
主要优点
- 模块化设计 - 完全可定制的槽布局和材料配置
- 污染控制 - 层流气流通过甲板，营造洁净的工艺环境
- 实验室级效率 - 手动和半自动选项可减少停机时间并提高产量
- 灵活的基底支持 - 从 100 毫米到 300 毫米晶圆和定制基底
CELERA® 工作台是半导体研发、材料科学和其他洁净关键应用的理想手动或半自动湿处理解决方案--在一个紧凑的系统中兼顾性能、灵活性和安全性。
系统概览 - 突出特点
- 100 毫米至 300 毫米晶圆以及定制基底
- 表面处理和电镀应用
- 前端和后端接入配置选项
- 支持任何化学品或基底尺寸
- 聚丙烯、PVC - FM4910 或不锈钢
- 半自动化 - 前后机器人或机械搅拌
- 浴槽再循环/过滤 - 高温和常温工艺
- 超声波/超声波槽 - 去除颗粒和厚残留物
- 浴槽添加 - 过氧化氢、D.I.水和其他添加剂
- 基于微处理器的控制或基于 PLC 的控制，带 HMI 触摸屏
- 带脚调节器的脚轮
选项
- 经 FM 4910 认证的建筑材料
- 定制排水管和化学品处理附件（容器、瓶子等）
- 经 FM 测试的 C2 火灾探测和灭火系统
- SEMI 和 CE 标志或其他第三方 NRTL 测试和认证
- HEPA/ULPA 空气过滤
CELERA 选项
CELERA 选项
- 经 FM 4910 认证的建筑材料
- 定制排水管和化学品处理配件（容器、瓶子等）
- 经 FM 测试的 C2 火灾探测和灭火系统
- SEMI 和 CE 标志或其他第三方 NRTL 测试和认证
- HEPA/ULPA 空气过滤
CELERA 功能
CELERA 功能
100-300 毫米晶片、基板
表面处理和电镀
前部和后部通道选项
支持任何化学品或基底尺寸
聚丙烯、PVC-FM4910、不锈钢
前后机器人或机械搅拌
浴槽再循环/过滤
高温+常温工艺
超声波/超音波颗粒去除
浴槽添加： 过氧化氢、H2O
CELERA 的优势
CELERA 的优势
模块化设计 完全可定制的罐体布局和材料配置
污染控制 甲板上的层流气流可提供洁净的工艺环境
实验室级效率 手动和半自动选项可减少停机时间并提高产量
灵活支持 100mm-300mm 晶圆和定制基底
CELERA 附加功能
CELERA 附加功能
- 浴槽再循环/过滤 - 高温和常温工艺
- 超声波/超声波槽 - 去除微粒和厚残留物
- 浴槽添加 - 过氧化氢、D.I.水和其他添加剂
- 基于微处理器的控制或基于 PLC 的控制，带 HMI 触摸屏
- 带脚调节器的脚轮