设计用于连续输送泥浆
这种先进的系统支持自动 N₂ 冲压和加湿，可根据应用需求直接连接到原料供应容器。
MEGA® 传输系统具有自动切换功能，可确保不间断运行，最大限度地延长设备的正常运行时间，减少操作员的人工干预，非常适合大批量生产环境。
巨型转运系统的主要优势
巨型转运系统的主要优势
- 灵活安装
- 可从与泥浆混合/分配装置 (SBDU) 分离的远程位置传输泥浆
- 可配置设计
- 提供半高和全高型号
- 可选择日池配置，以满足输出和工艺要求
- 久经考验的可靠性
- 经过全球半导体和 CMP 生产环境的现场测试
服务行业
服务行业
- 半导体制造
- 后 CMP 加工
- 太阳能/光伏 (PV)
- 低固体 CMP 应用
- LED 制造业
- 碳化硅 (SiC) / 物联网应用
MEGA 传输系统的主要优势
MEGA 传输系统的主要优势
我们的传输系统支持自动 N₂ 冲压和加湿，可根据应用需求直接连接到原材料供应容器。MEGA® 传输系统具有自动切换功能，可确保不间断运行，最大限度地延长设备正常运行时间，并最大限度地减少操作员的人工干预，是大批量生产的理想选择。
巨型转运系统的主要优势
巨型转运系统的主要优势
- 灵活安装
- 可从与泥浆混合/分配装置 (SBDU) 分离的远程位置传输泥浆
- 可配置设计
- 提供半高和全高型号
- 可选择日池配置，以满足输出和工艺要求
- 久经考验的可靠性
- 经过全球半导体和 CMP 生产环境的现场测试