MEGA SA100 功能
MEGA SA100 功能

  • 在线定量浓度监测
  • 多达 6 个滑流（相同化学成分），可对多个系统进行多点分析
  • 用于取样、净化和成分补充的可编程配方 用于精确、有针对性测量的特定检测和电化学传感器
  • 内置 Di 或过氧化物自动冲洗/净化功能，可手动控制
  • 从工具源加压取样
  • 独立的化学和电气隔间
  • 紧急关机 (E.M.O.)、声光报警和泄漏检测
  • 符合 SEMI S2 标准和系统排气验证

MEGA SA100 的优点
MEGA SA100 的优点

  • 通过准确维护工艺化学成分提高产品产量
  • 监控整个产品生命周期的化学降解情况
  • 快速检测和纠正工艺变化
  • 实时了解化学成分，将批次损失风险降至最低
  • 99.9% 的系统可用性确保了可靠的正常运行时间
  • 直接由混合系统控制（无需外部 PLC）

MEGA SA100 应用
MEGA SA100 应用

  • 半导体制造
  • 后 CMP 泥浆监测
  • 太阳能/光伏制造
  • 低固体 CMP 工艺
  • LED 和碳化硅 (SiC) 生产
  • 航空航天与 ECD（电化学沉积）
  • 物联网设备制造 SA100 系列 - 高精度浆料滴定和化学分析

MEGA® SA200 系列的特点
MEGA® SA200 系列的特点

  • 粒度检测范围从 0.2 微米到 20 微米（取决于配置）
  • 可调节粒度分档，以获得粒度数据
  • 支持高达 1,000,000:1 的稀释（双级）
  • 多种传感器选项和串联配置，用于验证
  • 长期批次和过滤器性能监测
  • 接受抓取样品或连续采样
  • 带有 DI 或化学选项的手动稀释和冲洗控制装置
  • 由耐化学腐蚀的 PFA 塑料和 316 SS 流量计构成
  • 可选 FM 4910 或符合 WPP 标准的外壳