使用 MEGA® 优化浆料配送

MEGA® 分配系统是用于半导体和 CMP 应用中混合浆料输送的先进、可扩展的解决方案。MEGA® 分配系统设计精密、灵活，可集成到 CMP 浆料处理环境中 - 无论是支持新安装还是改造现有工厂。

主要优势
主要优势

  • 性能可靠：专为中低产量 CMP 泥浆分配而设计，确保可靠运行和工具支持
  • 可扩展配置：模块化设计允许定制，以支持特定数量的全局浆料循环--非常适合不断增长或变化的工厂环境
  • 高性价比设计在不牺牲质量或性能的前提下实现了低成本，使其成为工厂和洁净室的经济之选

服务行业
服务行业

  • 半导体制造
  • 后 CMP 加工
  • 太阳能/光伏 (PV)
  • 低固体 CMP 应用
  • LED 生产
  • 碳化硅 (SiC) / 物联网设备制造

DIspense 频道
DIspense 频道

mega® sd1000 专用于向中低产量抛光机生产线分配胶体和气相浆料。每个分配通道都配有一个专用的分配槽： 分配槽

  • 分配槽
  • 浆料泵
  • 过滤装置
  • 全回路电路组件

SD1000 安装在工厂一级，经过优化，可将浆料输送到 100 英尺半径范围内的抛光机，将使用点 (POU) 压力保持在 20-30 psi 之间，以实现稳定高效的浆料流动。

主要功能
主要功能

  • 原浆和混合浆回路的自动冲洗、吹扫和排放
  • 连续的罐体再循环可保持泥浆的均匀性
  • 15 加仑（56 升）锥形底罐由天然聚丙烯 (PP) 制成 空气和浆料三通带有电容式气体感应装置，可清除全球回路中的残留空气
  • 集成式气泡式加湿器，带有氮气 (N₂) 分配装置，可用于水箱冲洗
  • 分配回路中的 H₂O₂ 监控
  • 排气压差开关/指示器
  • 每个浆料回路的手动取样口