专为独立环境和 SCADA 集成环境设计
MegaLink 2 可在工厂一级实现对配送流程的精确监控。MegaLink 2 具有可扩展的架构、冗余的通信路径和强大的协议支持，可确保设备的连续运行和无缝集成。
MegaLink 2 具有灵活性，从一个主机接口最多可支持 8 个远程控制单元。它的触摸屏人机界面简化了操作和配置，同时它的模块化设计支持每个关键点的冗余，是小型研发机构和大型 CMP 生产工厂的理想之选。
MEGA® MegaLink 2 可帮助监测和控制关键的浆料、化学品和气体分配过程。凭借内置冗余、无缝 SCADA 集成和对各种工业协议的支持，MegaLink 2 可确保不间断运行，提高过程可视性，并使工厂的基础设施面向未来。
系统概览：重点功能
系统概览：重点功能
- 触摸屏人机界面 (HMI)，用于本地控制和监控
- 每个主机系统最多可控制 8 台远程设备
- 基于以太网的通信协议
- 所有系统均标配冗余直流电源
- 支持 CDU 和 POU 工具之间的握手信令
- 高度可配置的软件架构
- 与各种 OEM 工具集和自动化系统兼容
适用应用
适用应用
- CMP 浆料配送系统（小型和大型晶圆厂）
- 全球循环化学品供应系统
- 多点工具通信网络
- 化学品或气体柜监控
- 用于传统和现代工具集成的过程控制接口
主要优势
主要优势
- 可扩展架构支持根据生产需求的增长进行扩展
- 兼容多种基于以太网的协议和传统接口
- 可作为独立的 PLC 系统运行，也可轻松集成到现有的 SCADA 基础设施中
- 冗余电源、通信和控制逻辑提高了正常运行时间和运行安全性
- 专为 CMP 晶圆厂、浆料系统和全球环路网络中的化学品输送而设计
选项
选项
- 冗余交流电源
- 冗余通信链路
- 用于故障切换保护的冗余可编程逻辑控制器 (PLC)