MEGA 混合系统

专为传统和新一代应用而设计

这些系统专为满足半导体制造 CMP 应用和其他高纯度化学工艺的苛刻要求而设计，支持多种混合比例和补充率，是传统应用和新一代应用的理想之选。

MEGA® 混合系统专为实现完全的可靠性和可重复性而设计，提供自动控制、智能监控和可定制的储罐容量，以满足各种工艺环境的特定要求。