
清除空气中的分子污染 (AMC) 是高度洁净生产环境(如半导体制造)中的一项特殊挑战。制程空气中的酸、碱、冷凝物和掺杂物会导致晶片表面和制程设备发生不希望发生的化学反应。Exentec 的 AMC 过滤器是在我们的内部技术中心设计的。它们在所有相关方面,如过滤器容量(最长使用寿命)、最高去除效率(最大工艺保护)、最低压降(节能)、最低排气量和微粒发展等,都是合格的和优化的。
Exentec的Cleanroom Envelope模块化洁净室套件
Exentec的Cleanroom Envelope解决方案设计精密,性能卓越,可从根本上提供完全集成的污染控制环境。了解我们的模块化系统如何创建一个无缝、合规和未来就绪的洁净室基础设施。
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