AMC 过滤器

AMC 过滤器
Exentec 是开发 AMC 过滤器的先驱之一
在高度洁净的生产环境(如半导体制造)中,一个特殊的挑战是清除空气中的分子污染物 (AMC),如制程空气中的酸、碱、冷凝物和掺杂物。这些污染物会在晶片表面和工艺设备上产生不良的化学反应。作为开发 AMC 过滤器的先驱之一,Exentec 为不同的应用领域提供各种不同的过滤产品,如用于洁净室天花板或工具和工艺保护的补风或回风过滤器。
这些产品由我们的内部技术中心设计,并在所有相关方面进行了鉴定和优化,如过滤器容量(=最长使用寿命)、最高去除效率(=最大工艺保护)、最低压降(=节能)、最低排气量和颗粒发展。

INX/PCF-ABCD
带金属框架的 INX/PCF-ABCD 含有滤料组合,可去除所有可能的空气分子污染物 AMC。这种离子交换滤料与浸渍活性炭材料的组合融合了所有过滤技术的精华,可在一个过滤器外壳内去除全部 AMC。这种组合过滤器的去除效率高,使用寿命长。

R-PCF-CD
R-PCF-CD 是用于处理挥发性有机化合物 (VOC) 的紧凑型过滤器。PCF 系列的这一型号配备了大量优质活性炭介质,因此即使在进气浓度较低的情况下,也能实现最长的过滤寿命和较高的去除效率。因此,它能为半导体和平板行业的关键工艺提供最佳保护。由于采用了智能设计,压降极低,有助于节省电费。

INX-A
INX-A 过滤器带有金属框架,内含各种颗粒状或纤维状离子交换介质,以及用于去除酸性物质的阴离子交换介质。这使得过滤器具有极高的去除效率和无与伦比的大容量,从而延长了有效的使用寿命。过滤器的压降也非常低,有助于降低能源成本。

INX-B
INX-B 过滤器带有金属框架,内含各种颗粒状或纤维状离子交换介质,以及用于去除碱的阳离子交换介质。这使得过滤器具有极高的除碱效率和无与伦比的大容量,从而延长了过滤器的有效使用寿命。过滤器的压降也非常低,有助于降低能源成本。

CCF-CD
CCF-CD 带有聚苯乙烯框架,内含活性炭介质和高度活性炭,用于去除冷凝物和挥发性有机化合物。

CCF-ACD
CCF-ACD 过滤器带有聚苯乙烯框架,内含浸渍活性炭介质,用于去除酸性物质和冷凝物/挥发性有机化合物。该过滤器为 V 形过滤器,内含浸渍活性炭褶皱材料。其特点是压降小,吸附力强,用于去除酸性污染物。该过滤器可完全焚烧。

CCF-ACD
