Exentec 的 AMC 过滤器由我们的内部技术中心设计。它们在所有相关方面，如过滤器容量（最长使用寿命）、最高去除效率（最大工艺保护）、最低压降（节能）、最低排气量和颗粒发展等方面，都经过了认证和优化。
为什么 AMC 过滤器在洁净室中非常重要？
去除空气中的分子污染物（AMC）是高度洁净生产环境（如半导体制造）中的一项特殊挑战。工艺空气中的酸、碱、冷凝物和掺杂物会导致晶片表面和工艺设备发生不希望发生的化学反应。 化学过滤器被广泛应用于环境空气和循环空气的污染控制。Exentec 的 AMC 团队可提供全面的服务，对化学过滤器材料进行测试和验证，以满足最高质量要求。过滤材料的开发重点在于去除所有酸性、碱性和有机物质。
空气中分子污染物的分类
AMC 化合物通常分为酸、碱、可缩合物（摩尔质量为 120 g/mol、沸点大于 150°C 的有机化合物）和掺杂物（可改变半导体晶片电气特性的化学品）。此外，还有其他已知会导致神志不清的物质（如 H2O2、H2S 或臭氧等其他腐蚀性物质）。
随着半导体芯片的设备几何尺寸不断缩小，即使是低沸点的 VOC（挥发性有机化合物）也会造成问题。Exentec 可以为您提供咨询，并针对您的工艺需求提供技术性和经济性解决方案。
CCF
CCF
CCF 过滤器带有聚苯乙烯框架，内含浸渍活性炭介质，可去除碱和冷凝物/挥发性有机化合物。这种过滤器是一种 V 形过滤器，带有浸渍活性炭褶皱材料。其特点是压降小，吸附力强，用于去除碱性污染物。该过滤器可完全焚烧。
INX
INX
INX 过滤器带有金属框架，内含各种颗粒状或纤维状离子交换介质，以及用于去除酸性物质的阴离子交换介质。这使得过滤器具有极高的去除效率和无与伦比的大容量，从而延长了有效使用寿命。过滤器的压降也非常低，有助于降低能源成本。
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB 带有聚苯乙烯框架，内含各种颗粒状纤维离子交换介质。IXV-AB 是一种 AMC 过滤器，可高效去除酸性和碱性物质。它配备有 Exentec 专利的纤维状阳离子和阴离子交换材料。该过滤器对目标物质具有极高的去除率。
CCF
CCF
CCF 过滤器带有聚苯乙烯框架，内含浸渍活性炭介质，可去除碱和冷凝物/挥发性有机化合物。这种过滤器是一种 V 形过滤器，带有浸渍活性炭褶皱材料。其特点是压降小，吸附力强，用于去除碱性污染物。该过滤器可完全焚烧。
