Designet til at understøtte en bred vifte af højteknologiske industrier

Herunder CMP, siliciumcarbid, LED, solceller og optik, og disse systemer leverer enestående fleksibilitet, høj nøjagtighed og pålidelig ydeevne i et kompakt fodaftryk. Med fleksible makeup-hastigheder, procesovervågning i realtid og konfigurationer, der kan tilpasses, er MEGA®-systemerne optimeret til fremstilling af halvledere, CMP-applikationer med lavt indhold af faste stoffer og meget mere.

Forbedr dit slambehandlingssystem i dag. Kontakt MEGA® for at udforske specialkonfigurerede slamblandings- og distributionssystemer til din fabrik eller dit renrum.

Et overblik over systemet: fremhævede funktioner
Et overblik over systemet: fremhævede funktioner

  • Fleksibel drift
  • Understøtter specialkemiske processer med lav til høj volumen
  • Justerbart doseringstryk på brugsstedet til forskellige værktøjskrav
  • Skalerbart og konfigurerbart design
  • Flere systemmodeller skræddersyet til specifikke fabriks- og renrumslayouts
  • Tilpassede muligheder for både nye og eftermonterede faciliteter
  • Dokumenteret pålidelighed
  • Designet til produktionsmiljøer med høj gennemstrømning
  • Lave samlede ejeromkostninger med robust systemydelse

Vigtige fordele
Vigtige fordele

  • Skalerbar arkitektur understøtter udvidelse, når produktionskravene vokser
  • Kompatibel med flere Ethernet-baserede protokoller og ældre grænseflader
  • Fungerer som et selvstændigt PLC-system eller integreres nemt i eksisterende SCADA-infrastruktur
  • Redundant strøm, kommunikation og styringslogik forbedrer oppetiden og driftssikkerheden
  • Designet til CMP-fabrikker, slamsystemer og kemikalielevering på tværs af globale loop-netværk

Valgmuligheder
Valgmuligheder

  • Redundant AC-strømforsyning
  • Redundante kommunikationsforbindelser
  • Redundante PLC'er (Programmable Logic Controllers) til failover-beskyttelse

Passende applikationer
Passende applikationer

  • CMP-slurry-distributionssystemer (små og store fabrikker)
  • Kemiske forsyningssystemer med global loop
  • Kommunikationsnetværk til værktøj med flere punkter
  • Overvågning af kemikalie- eller gasskabe
  • Processtyringsinterface til integration af ældre og moderne værktøjer