Renovace systému

Kontejnery z křemene

Kontejnery z křemene

Systémy MEGATHERM™ jsou vybaveny bezešvou tvarovanou vnitřní nádrží z křemene, která zajišťuje prostředí s nízkou kontaminací a bez částic a je navržena tak, aby odolávala odizolování a leptání nitridu křemíku.

Oběhové vany

Oběhové vany

Center Feed™ je první cirkulační a filtrační lázeň pro polovodičový průmysl a používá se především pro aplikace s HF, BOE a KOH, ale lze ji použít pro většinu kyselin.
Ponorná čerpadla

Ponorná čerpadla

Ponorná čerpadla Exentec jsou navržena výhradně pro splnění přísných požadavků polovodičového průmyslu na cirkulaci filtrovaných leptacích modulů. Naše čerpadla jsou vyráběna tak, aby zůstala bez kontaminace, což zajišťuje bezproblémový a efektivní provoz.
Regulátory teploty

Regulátory teploty

Oběhová čerpadla s řízenou teplotou WHRV™ a WHO™, navržená speciálně pro polovodičový průmysl, se používají k řízení teploty ve filtrovaných leptacích modulech a dalších nádržích s chemikáliemi, kde je důležitá stabilita a rovnoměrnost teploty.

Myčka nádobí s rychlým naklápěním

Myčka nádobí s rychlým naklápěním

Rychle sklopné oplachovače MICROCLEEN™ jsou vybaveny nastavitelnými horními postřikovacími lištami, vnějšími spodními plnicími lištami a většími výsypnými dvířky, která umožňují vysypání během několika sekund. Je možné je dodatečně namontovat v terénu bez nutnosti jakýchkoli úprav stávajícího vodovodního systému.

Čerpací stanice

Čerpací stanice

Naše čerpací stanice řady Chemblast™ jsou určeny pro situace, kdy není k dispozici AWN nebo se procesní nástroj nenachází v blízkosti AWN. Čerpací stanice shromažďují použitou chemii ze speciálního nástroje a poté ji přečerpávají do AWN nebo do sběrného místa.

Stanice na mytí lahví

Stanice na mytí lahví

Standardní mycí stanice na láhve Exentec je určena k čištění a skladování až 8 lahví o objemu jednoho galonu. Mycí stanice se skládá ze dvou nezávislých horizontálních podlahových postřikovacích lišt se 4 vertikálními postřikovacími věžemi, které pomáhají při přesouvání lahví.

Vozíky na láhve

Vozíky na láhve

Vozíky na lahve jsou nezbytné v aktivních pracovních oblastech, kde je vyžadován praktický a bezpečný prostředek pro přepravu chemikálií v lahvích. Kromě oblíbeného vozíku na 12 nebo 16 lahví o objemu 1 galon jsou k dispozici různé konfigurace.
Exsikátorové skříně

Exsikátorové skříně

Pokud zařízení citlivé na vlhkost potřebuje chráněné prostředí, jsou nepostradatelné exsikátorové regály a skladovací skříně Exentec. Vnitřní prostředí exsikátorových skříní lze monitorovat a/nebo řídit pomocí různých typů systémů vstřikování vzduchu nebo plynu a kontrolních přístrojů.
Laboratorní boxy na rukavice

Laboratorní boxy na rukavice

Rukavicové boxy a další ochranné komory jsou k dispozici v provedení na zakázku, které vyhovuje jakémukoli použití a rozpočtu. Cílem laboratorních rukavicových boxů je izolovat a oddělit obsluhu od zařízení v kontrolovaném prostředí rukavicového boxu.

Systémy čištění křemene

Systémy čištění křemene

Společnost KINETICS nabízí speciální systémy na čištění křemenných trubic pro důkladné čištění vnitřního i vnějšího povrchu difuzních trubic a podobných křemenných výrobků. Různé délky a průměry křemenných trubiček jsou umístěny v čisticí komoře, která otáčí trubičkami a zároveň vstřikuje kyseliny nebo jiné čisticí kapaliny.

Ocelové pracovní stoly

Ocelové pracovní stoly

Společnost Exentec nabízí na zakázku konfigurované ocelové pracovní stoly za výhodné ceny. Kromě oblíbených stolů z nerezové oceli lze zvolit skříně v libovolné velikosti a s různými typy povrchových materiálů.