Zařízení pro podporu mokrých procesů

Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.

Dokážeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování. Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:

• destičky (100 mm - 300 mm)
• polovodičové materiály III-V
• Fotomasky
• Skleněné a křemenné přípravky
• Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče

Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.

• Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
• Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
• Velikost lázně pro jednu nebo více kazet

Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení

Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:

• leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
• Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
• Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.

Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:

• Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
• Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
• Palubní vozíky pro sběr odpadu
• Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
• Hardware pro optimalizaci procesů
• Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
• Ohřev: až 5115 BTU/hod.
• Chlazení: až 2550 BTU/hod.
• Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
• Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
• Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
• Ponorný, kaskádový a stříkací režim

Systémy Exentec pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.