Díky otevřenému procesnímu prostoru, který kopíruje uspořádání desek větších mokrých stolů, a integrovanému laminárnímu proudění vzduchu systém CELERA minimalizuje kontaminaci částicemi a kouřem, takže je ideální pro výzkum, vývoj a prostředí pilotních linek.
Klíčové výhody
- Modulární konstrukce - plně přizpůsobitelné uspořádání nádrží a konfigurace materiálů
- Kontrola kontaminace - Laminární proudění vzduchu nad dekou pro čisté procesní prostředí.
- Efektivita v laboratorním měřítku - Manuální a poloautomatické možnosti zkracují prostoje a zvyšují výkonnost.
- Flexibilní podpora substrátů - Od 100mm do 300mm destiček a vlastní substráty
Stoly CELERA® jsou ideálním manuálním nebo poloautomatickým řešením mokrého zpracování pro výzkum a vývoj polovodičů, vědu o materiálech a další kriticky čisté aplikace - vyvažují výkon, flexibilitu a bezpečnost v jednom kompaktním systému.
Přehled systému - Nejdůležitější funkce
- 100mm až 300mm destičky a vlastní substráty
- Aplikace pro přípravu povrchu a pokovování
- Možnosti konfigurace s přístupem zepředu a zezadu
- Podpora jakýchkoli chemických látek nebo velikosti substrátu
- Polypropylen, PVC - FM4910 nebo nerezová ocel
- Poloautomatické - roboty zepředu dozadu nebo mechanické míchání
- Recirkulace lázně / filtrace - procesy při vysokých teplotách a okolním prostředí
- Megazvukové/ultrazvukové nádrže - odstraňování částic a hustých zbytků
- Vypouštění vody z lázně - peroxid vodíku, voda s vodním roztokem a další aditiva
- Mikroprocesorové řízení nebo řízení na bázi PLC s dotykovou obrazovkou HMI
- Kolečka s nastavovacími nohami
Možnosti
- Stavební materiály schválené podle FM 4910
- Vlastní odtoky a příslušenství pro manipulaci s chemikáliemi (karboxy, lahve atd.)
- Systém detekce a hašení požáru C2 testovaný podle FM
- Testování a certifikace SEMI a CE Mark nebo jiné třetí strany NRTL
- Filtrace vzduchu HEPA/ULPA
Možnosti CELERA
Možnosti CELERA
- FM 4910 Schválené stavební materiály
- Vlastní odtoky a příslušenství pro manipulaci s chemikáliemi (karboxy, lahve atd.)
- Systém detekce a hašení požáru C2 testovaný podle FM
- Testování a certifikace SEMI a CE Mark nebo jiné třetí strany NRTL
- Filtrace vzduchu HEPA/ULPA
Vlastnosti systému CELERA
Vlastnosti systému CELERA
100-300mm destičky, substráty
Příprava povrchu a pokovování
Možnosti přístupuzepředu a zezadu
Podpora libovolné velikostichemikálií nebo substrátu
Polypropylen, PVC-FM4910, nerezová ocel
Roboti zepředu dozadu nebo mech. míchání
Recirkulace/filtrace lázně
Vysokoteplotní + okolní procesy
Megazvukové/ultrazvukové odstraňování částic
Opláchnutí lázně: peroxid vodíku, H2O
Výhody programu CELERA
Výhody programu CELERA
Modulární konstrukce Plně přizpůsobitelné uspořádání nádrží a konfigurace materiálů
Kontrola kontaminace Laminární proudění vzduchu nad dekou pro čisté procesní prostředí
Efektivita v laboratorním měřítku Manuální a poloautomatické možnosti zkracují prostoje a zvyšují výkonnost.
Flexibilní podpora Od 100-300mm destiček a vlastních substrátů
CELERA Další funkce
CELERA Další funkce
- Recirkulace vany / filtrace - procesy při vysokých teplotách a okolním prostředí
- Megazvukové/ultrazvukové nádrže - Odstraňování částic a hustých zbytků
- Vypouštění peroxidu vodíku, vody s vodním roztokem a dalších aditiv do lázní.
- Mikroprocesorové řízení nebo řízení na bázi PLC s dotykovou obrazovkou HMI
- Kolečka s nastavením nohou