Automatizovaný mokrý stůl Aeris | Produkty

Bezkonkurenční výkon pro vyvíjející se potřeby výzkumu a vývoje

Ať už vyvíjíte novou generaci uzlů nebo dolaďujete receptury leptání a čištění, automatizovaná mokrá stolice Aeris® je navržena tak, aby držela krok s inovacemi. Tento mokrý stůl nabízí vše od čištění substrátu až po leptání kyselinami a zásadami. Aplikace:

Vývoj procesů
Hodnocení materiálů
Příprava povrchu
Čištění po leptání

Dostupné konfigurace zahrnují plně uzavřené, poloautomatické a přizpůsobitelné stopy, které vyhovují uspořádání a pracovním postupům vaší laboratoře.

Řídicí rozhraní systému na bázi počítače umožňuje nepřetržité sledování postupu destiček různými procesními lázněmi. To zase maximalizuje celkovou propustnost destiček sledováním časů komplementace jednotlivých procesů a automatickou přepravou destiček postupnými lázněmi. Každá šarže plátků je identifikována identifikačním kódem šarže a procesní receptury jsou automaticky stahovány do procesoru prostřednictvím vestavěného řídicího systému na bázi počítače se systémem Windows. Databázi a monitorovací systém lze připojit k podnikovým systémům prostřednictvím rozhraní SECS II pro monitorování a zaznamenávání dat v reálném čase.

Automatizované mokré lavice Aeris®: Pro dvě nebo více procesních lázní

Automatizované mokré lavice Aeris jsou určeny pro procesy se dvěma nebo více procesními vanami. Přenosový systém lze nastavit buď jako lineární konfiguraci zepředu dozadu nebo zleva doprava, nebo jako tříosý systém umožňující složitější přenos mezi lázněmi na menším prostoru. Přenosové systémy jsou navrženy tak, aby mohly pojmout jednu nebo dvě kazety s destičkami o průměru až 200 mm nebo jednu kazetu s destičkami o průměru 300 mm. Řídicí systém zahrnuje PLC a barevné dotykové rozhraní (HMI). PLC má víceúrovňovou ochranu heslem a může ukládat více procesních receptur, zatímco HMI má několik obrazovek pro údržbu, nastavení receptury, nastavení nádrže, provoz a stav alarmu.

Přehled systému: zvýrazněné funkce

Flexibilní konfigurace podporující jakoukoli mokrou chemickou aplikaci
Podporuje zpracování v jedné vrstvě i dávkové zpracování
100mm až 300mm destičky a vlastní substráty
Lineární nebo víceosé konfigurace robotů
Vícenásobné konfigurace nakládání/vykládání
Možnosti otevřeného nebo plně uzavřeného prostředí
Recirkulace vany / filtrace
Vyhřívané, chlazené nebo okolní aplikace
Megazvukové a/nebo ultrazvukové nádrže
Možnosti chemického monitorování / metrologie
Koncentrace, vodivost, pH, teplota, počet částic atd.
Hromadná distribuce nebo dávkování na palubě
Rozprašování v lázni - peroxid vodíku, voda s vodním roztokem a další aditiva
Sušení s gradientem povrchového napětí
Řízení miSCADA - integruje PLC, Modbus, servery OPC/OPC UA, MQTT a SECS/GEM.

Možnosti

Stavební materiály schválené podle FM 4910.
Systém detekce a potlačení požáru CO2 schválený FM
Označení SEMI a CE nebo jiné testování a certifikace třetí stranou NRTL.
Filtrace vzduchu HEPA/ULPA
Osvětlovací zařízení
Počítač s operačním systémem Windows s možností připojení k síti
K dispozici software typu SECS/GEM nebo software pro správu majetku

Aeris-Bäder mit Nasszelle

Automatizace mokrých stolů Aeris je určena pro procesy se dvěma nebo více procesními nádobami. Přenosový systém lze nastavit buď jako lineární konfiguraci zepředu dozadu nebo zleva doprava, nebo jako tříosý systém umožňující složitější přenos mezi lázněmi na menším prostoru. Přenosové systémy jsou navrženy tak, aby mohly pojmout jednu nebo dvě kazety s destičkami o průměru až 200 mm nebo jednu kazetu s destičkami o průměru 300 mm.

Flexibilní možnosti

Konfigurace zahrnují otevřené nebo plně uzavřené, poloautomatické a přizpůsobitelné půdorysy, které odpovídají vašemu uspořádání. Možnosti zahrnují zpracování jedné destičky a dávkové zpracování, lineární nebo víceosé konfigurace robotů, 100mm až 300mm destičky, vlastní substráty a různé možnosti nakládání/vykládání.