Funkce MEGA SA100
Funkce MEGA SA100
- Online kvantitativní monitorování koncentrace
- Až 6 slipstreamů (stejná chemie) pro vícebodovou analýzu více systémů
- Programovatelné receptury pro odběr vzorků, proplachování a doplňování složek Specifické testy a elektrochemické senzory pro přesné a cílené měření
- Vestavěný automatický proplach/pročištění pomocí Di nebo peroxidu s ručním ovládáním
- Tlakový odběr vzorků ze zdrojů nástrojů
- Oddělené chemické a elektrické prostory
- Nouzové vypnutí stroje (E.M.O.), zvukové/vizuální alarmy a detekce netěsností
- Shoda s normou SEMI S2 a ověření výfukových plynů systému
MEGA SA100 Výhody
MEGA SA100 Výhody
- Zvýšení výtěžnosti produktu přesným dodržováním chemického složení procesu
- Monitorování chemické degradace v průběhu celého životního cyklu výrobku.
- Rychlá detekce a korekce procesních odchylek
- Minimalizujte riziko ztráty šarže díky přehledu o chemických látkách v reálném čase.
- 99,9% dostupnost systému zajišťuje spolehlivou provozuschopnost
- Řízení přímo ze směšovacího systému (není nutný externí PLC)
Aplikace MEGA SA100
Aplikace MEGA SA100
- Výroba polovodičů
- Monitorování kalu po ukončení procesu CMP
- Výroba solárních a fotovoltaických panelů
- Procesy CMP s nízkým obsahem pevných látek
- Výroba LED a karbidu křemíku (SiC)
- Letectví a ECD (elektrochemické nanášení)
- Výroba zařízení IoT Řada SA100 - vysoce přesná titrace kalů a chemická analýza
Funkce řady MEGA® SA200
Funkce řady MEGA® SA200
- Detekce velikosti částic od 0,2 μm do 20 μm (v závislosti na konfiguraci)
- Nastavitelné třídění velikosti částic pro zrnitá data
- Podpora ředění až 1 000 000:1 (dvoustupňové)
- Více možností snímače a sériové konfigurace pro ověření
- Dlouhodobé sledování výkonnosti dávek a filtrů
- Přijímá záchytné vzorky nebo kontinuální odběr vzorků
- Manuální ovládání ředění a proplachování s možností použití DI nebo chemikálií
- Konstrukce z chemicky odolných plastů PFA a průtokoměrů z oceli 316 SS
- Volitelné kryty vyhovující normě FM 4910 nebo WPP