Optimalizujte distribuci kejdy pomocí systému MEGA®

Distribuční systémy MEGA® jsou pokročilá, škálovatelná řešení pro dodávku směsné suspenze v polovodičových a CMP aplikacích. Poskytují přesnou a konzistentní distribuci kejdy v celé řadě nástrojů pro chemicko-mechanickou planarizaci (CMP). Distribuční systémy MEGA® jsou navrženy pro přesnost, flexibilitu a integraci v prostředí zpracování kejdy CMP - ať už jde o podporu nových instalací nebo modernizaci stávajících výrobních zařízení.

Hlavní výhody
Hlavní výhody

  • Spolehlivý výkon: Zkonstruováno pro dávkování CMP kaše v malých a středních objemech, což zajišťuje spolehlivý provoz a podporu nástrojů.
  • Škálovatelná konfigurace: Modulární konstrukce umožňuje přizpůsobení pro podporu určitého počtu globálních smyček kalu - ideální pro rostoucí nebo měnící se prostředí továrny.
  • Cenově výhodná konstrukce nabízí nízké náklady bez obětování kvality nebo výkonu, což z ní činí ekonomickou volbu pro továrny a čisté prostory.

Obsluhovaná odvětví
Obsluhovaná odvětví

  • Výroba polovodičů
  • Zpracování po CMP
  • Solární / fotovoltaika (PV)
  • Aplikace CMP s nízkým obsahem pevných látek
  • Výroba LED diod
  • Výroba zařízení z karbidu křemíku (SiC) / IoT

Dospělé kanály
Dospělé kanály

MEGA® SD1000 je speciálně konstruován pro distribuci koloidní a dýmavé suspenze do nízkoobjemových a středněobjemových lešticích linek. Každý dávkovací kanál je vybaven vyhrazeným:

  • distribuční nádrží
  • Čerpadlem na kaly
  • Filtrační jednotkou
  • Součásti globálního okruhu

Zařízení SD1000, instalované na úrovni továrny, je optimalizováno tak, aby dodávalo kejdu do leštiček v okruhu 100 stop a udržovalo tlak v místě použití (POU) mezi 20-30 psi pro stabilní a efektivní tok kejdy.

Hlavní funkce
Hlavní funkce

  • Automatické proplachování, proplachování a vypouštění okruhů surové a směsné kejdy
  • Nepřetržitá recirkulace v nádrži pro udržení rovnoměrnosti kalu
  • Nádrže s kónickým dnem o objemu 15 galonů (56 l) z přírodního polypropylenu (PP) Vzduchové a kejdové odpínače s kapacitním snímáním plynu pro odstranění zachyceného vzduchu v globálních smyčkách.
  • Integrovaný bublinkový zvlhčovač s rozvodem dusíku (N₂) pro přikrytí nádrže
  • Monitorování H₂O₂ v dávkovacím okruhu
  • Spínač/indikátor diferenčního tlaku ve výfuku
  • Manuální odběr vzorků pro každý okruh kalu