Optimalizujte distribuci kejdy pomocí systému MEGA®
Distribuční systémy MEGA® jsou pokročilá, škálovatelná řešení pro dodávku směsné suspenze v polovodičových a CMP aplikacích. Poskytují přesnou a konzistentní distribuci kejdy v celé řadě nástrojů pro chemicko-mechanickou planarizaci (CMP). Distribuční systémy MEGA® jsou navrženy pro přesnost, flexibilitu a integraci v prostředí zpracování kejdy CMP - ať už jde o podporu nových instalací nebo modernizaci stávajících výrobních zařízení.