Navrženo pro starší aplikace a aplikace nové generace
Tyto systémy jsou navrženy tak, aby splňovaly náročné požadavky aplikací CMP při výrobě polovodičů a dalších chemických procesů s vysokou čistotou a podporují širokou škálu směšovacích poměrů a rychlostí doplňování - jsou tedy ideální pro starší aplikace i aplikace nové generace.
Míchací systémy MEGA® jsou navrženy pro naprostou spolehlivost a opakovatelnost a nabízejí automatizované řízení, inteligentní monitorování a přizpůsobitelné kapacity nádrží, které splňují specifické požadavky každého procesního prostředí.
Funkčně bohaté inženýrství
Funkčně bohaté inženýrství
- Přesná podpora míchání pro širokou škálu poměrů a chemikálií
- Celková kapacita míchání od 30 do 500 litrů v závislosti na konfiguraci systému.
- Automatické proplachování, proplachování a vypouštění surovinových a směšovacích okruhů pro maximální čistotu
- Zvlhčovač ve stylu bubbleru zajišťuje dusíkovou (N₂) přikrývku nad směšovací nádrží pro ochranu čistoty.
- Manuální odběr vzorků pro ověření kvality směsi
Maximalizace výkonnostních výhod
Maximalizace výkonnostních výhod
- Monitorování výfukových plynů pro bezpečnost a kontrolu procesu
- Ruční útlumový ventil pro kontrolu protitlaku ve zpětném potrubí přenosové smyčky.
- Možnost ručního odpojení, obtoku, vypouštění a odplynění pro lepší kontrolu filtru.
- Kapacitní senzory prázdného bubnu pro nepřerušovaný přísun materiálu
- Snímač tlaku pro sledování tlaku v přívodu surovin v reálném čase
Aplikace pro více zařízení
Aplikace pro více zařízení
- Výroba polovodičových destiček
- Chemicko-mechanická planarizace (CMP)
- Výroba fotovoltaiky a mikroelektroniky
- Přesné povlaky a výzkum a vývoj pokročilých materiálů
Funkčně bohaté inženýrství
Funkčně bohaté inženýrství
- Přesná podpora míchání pro širokou škálu poměrů a chemikálií
- Celková kapacita míchání od 30 do 500 litrů v závislosti na konfiguraci systému.
- Automatické proplachování, proplachování a vypouštění surovinových a směšovacích okruhů pro maximální čistotu
- Zvlhčovač ve stylu bubbleru zajišťuje dusíkovou (N₂) přikrývku nad směšovací nádrží pro ochranu čistoty.
- Manuální odběr vzorků pro ověření kvality směsi