
Navrženo pro starší aplikace a aplikace nové generace
Tyto systémy jsou navrženy tak, aby splňovaly náročné požadavky aplikací CMP při výrobě polovodičů a dalších chemických procesů s vysokou čistotou a podporují širokou škálu směšovacích poměrů a rychlostí doplňování - jsou tedy ideální pro starší aplikace i aplikace nové generace.
Míchací systémy MEGA® jsou navrženy pro naprostou spolehlivost a opakovatelnost a nabízejí automatizované řízení, inteligentní monitorování a přizpůsobitelné kapacity nádrží, které splňují specifické požadavky každého procesního prostředí.