Filtry AMC společnosti Exentec jsou konstruovány v našem vlastním technologickém centru. Každý z nich je kvalifikován a optimalizován ve všech důležitých aspektech, jako je kapacita filtru (maximální životnost), nejvyšší účinnost odstranění (maximální ochrana procesu), nejnižší tlaková ztráta (úspora energie), nejnižší odplynění a vývoj částic.
Proč jsou filtry AMC důležité v čistých prostorech?
Odstraňování vzdušné molekulární kontaminace (AMC) je zvláštní výzvou ve vysoce čistých výrobních prostředích (např. při výrobě polovodičů). Kyseliny, zásady, kondenzáty a dopanty v procesním vzduchu mohou vést k nežádoucím chemickým reakcím na povrchu destiček a procesních zařízeních. Chemické filtry se používají v celé řadě aplikací pro kontrolu kontaminace okolního a cirkulujícího vzduchu. Tým AMC společnosti Exentec nabízí komplexní službu testování a ověřování materiálů chemických filtrů z hlediska nejvyšších požadavků na kvalitu. Vývoj filtračních materiálů je zaměřen na odstraňování všech kyselých, zásaditých a organických látek.
Klasifikace molekulárních znečišťujících látek v ovzduší
Sloučeniny AMC se obvykle dělí na kyseliny, zásady, kondenzáty (organické sloučeniny s molární hmotností 120 g/mol a bodem varu >150 °C) a dopanty (chemické látky, které mohou měnit elektrické vlastnosti polovodičových destiček). Existují také další látky, o nichž je známo, že způsobují delirantní účinky (tj. jiné korozivní druhy, jako je H2O2, H2S nebo ozon).
Se stále se zmenšující geometrií zařízení polovodičových čipů mohou být problematické i nízkovroucí těkavé organické látky (VOC). Společnost Exentec s vámi může konzultovat a poskytnout technické a ekonomické řešení pro vaše procesní potřeby.
CCF
CCF
CCF s polystyrénovým rámem obsahujícím impregnované uhlíkové médium s impregnovaným uhlíkem pro odstraňování zásad i kondenzátů / těkavých organických látek. Tento filtr je ve tvaru V s plisovaným materiálem s impregnovaným aktivním uhlím. Vyznačuje se nízkou tlakovou ztrátou a vysokou adsorpcí a používá se k odstraňování alkalických nečistot. Filtr je plně spalitelný.
INX
INX
INX s kovovým rámem obsahujícím různá granulovaná nebo vláknitá iontoměničová média s aniontovým výměnným médiem pro odstraňování kyselin. To vede k velmi vysoké účinnosti odstraňování a bezkonkurenčně vysoké kapacitě, a tím i k dlouhé efektivní životnosti filtru. Filtr se rovněž vyznačuje velmi nízkou tlakovou ztrátou, což pomáhá udržovat nízké náklady na energii.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB s polystyrenovým rámem obsahujícím různá granulovaná vláknitá iontoměničová média. IXV-AB je AMC filtr pro vysoce účinné odstraňování kyselin a zásad. Je vybaven patentovanými vláknitými aniontovými a kationtovými výměnnými materiály společnosti Exentec. Filtr se vyznačuje velmi vysokou účinností odstraňování cílových látek.
CCF
CCF
CCF s polystyrénovým rámem obsahujícím impregnované uhlíkové médium s impregnovaným uhlíkem pro odstraňování zásad i kondenzátů / těkavých organických látek. Tento filtr je ve tvaru V s plisovaným materiálem s impregnovaným aktivním uhlím. Vyznačuje se nízkou tlakovou ztrátou a vysokou adsorpcí a používá se k odstraňování alkalických nečistot. Filtr je plně spalitelný.
