Odstraňování molekulární kontaminace přenášené vzduchem (AMC) je zvláštní výzvou ve vysoce čistých výrobních prostředích (např. při výrobě polovodičů). Kyseliny, zásady, kondenzáty a dopanty v procesním vzduchu mohou vést k nežádoucím chemickým reakcím na povrchu destiček a procesním zařízení. Filtry AMC společnosti Exentec jsou konstruovány v našem vlastním technologickém centru. Každý z nich je kvalifikován a optimalizován ve všech relevantních aspektech, jako je kapacita filtru (maximální životnost), nejvyšší účinnost odstranění (maximální ochrana procesu), nejnižší tlaková ztráta (úspora energie), nejnižší odplynění a vývoj částic.
Cleanroom Envelope modulární balíčky čistých prostor od společnosti Exentec
Řešení Cleanroom Envelope od společnosti Exentec, navržená pro přesnost a vyrobená pro výkon, poskytují plně integrované prostředí s kontrolou kontaminace od samého základu. Zjistěte, jak naše modulární systémy vytvářejí bezproblémovou, vyhovující a na budoucnost připravenou infrastrukturu čistých prostor.
Chcete-li si s námi promluvit o našich řešeních pro čisté prostory: +49 711 8804 8000
CCF
CCF
CCF s polystyrénovým rámem obsahujícím impregnované uhlíkové médium s impregnovaným uhlíkem pro odstraňování zásad i kondenzátů / těkavých organických látek. Tento filtr je ve tvaru V s plisovaným materiálem s impregnovaným aktivním uhlím. Vyznačuje se nízkou tlakovou ztrátou a vysokou adsorpcí a používá se k odstraňování alkalických nečistot. Filtr je plně spalitelný.
INX
INX
INX s kovovým rámem obsahujícím různá granulovaná nebo vláknitá iontoměničová média s aniontovým výměnným médiem pro odstraňování kyselin. To vede k velmi vysoké účinnosti odstraňování a bezkonkurenčně vysoké kapacitě, a tím i k dlouhé efektivní životnosti filtru. Filtr se rovněž vyznačuje velmi nízkou tlakovou ztrátou, což pomáhá udržovat nízké náklady na energii.
INX PCF-ABCD
INX PCF-ABCD
INX/PCF-ABCD s kovovým rámem obsahujícím kombinaci médií pro odstranění všech možných molekulárních kontaminantů přenášených vzduchem AMC. Tato kombinace iontoměničového média s impregnovaným materiálem aktivního uhlí spojuje to nejlepší ze všech filtračních technologií a odstraňuje kompletní škálu AMC v jednom filtračním tělese. Tato kombinace filtrů umožňuje vysokou účinnost odstraňování a dlouhou životnost filtru.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB s polystyrenovým rámem obsahujícím různá granulovaná vláknitá iontoměničová média. IXV-AB je AMC filtr pro vysoce účinné odstraňování kyselin a zásad. Je vybaven patentovanými vláknitými aniontovými a kationtovými výměnnými materiály společnosti Exentec. Filtr se vyznačuje velmi vysokou účinností odstraňování cílových látek.