أنظمة MEGA® متعددة الوظائف

بما في ذلك CMP، وكربيد السيليكون، ومصابيح LED، ومصابيح LED، والطاقة الشمسية، والبصريات، توفر هذه الأنظمة مرونة استثنائية ودقة عالية وأداءً موثوقًا في مساحة صغيرة. With flexible makeup rates, real-time process monitoring, and customizable configurations, MEGA® systems are optimized for semiconductor fabrication, low-solids CMP applications, and more.