Udstyr til understøttelse af våd proces

Vores værktøjer integrerer proceshardware, avanceret kontrolsoftware og automatiseret robotteknologi for at levere tilpassede løsninger fra manuelle enkeltprocesbænke til fuldautomatiske waferhåndteringssystemer.

Vi kan tilpasse substratbærere og endeffektorer til at imødekomme unikke behandlingskrav. Vi understøtter en bred vifte af substrater og materialer:

• Wafere (100 mm - 300 mm)
• III-V halvledermaterialer
• Fotomasker
• Inventar af glas og kvarts
• Brugerdefinerede manifolds og specialbærere

Vores ingeniører kan også designe brugerdefinerede endeeffektorer og substratbærere til at opfylde dine specifikke proces- og håndteringsbehov.

• Rengøring, resiststrimler, ætsning, udvikling, metal lift-off, IPA recovery og tørring
• Kan bruges til syre-, base- og opløsningsmiddelapplikationer
• Badstørrelser til en eller flere kassetter

Konfigurerbart og skalerbart procesudstyr

Vores team har erfaring med en bred vifte af anvendelsesbehov, herunder arbejde med FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch og E-less Deposition. Vi har også standardlayouts til vådprocesbade til rådighed til mange anvendelser som f.eks:

• Vådætsning - Siliciumætsning (KOH), nitridætsning, bufret oxidætsning, fotoresiststrimmel og guld/platinætsning.
• Metal Lift-Off - NMP- og DMSO-konfigurationer
• Wafer Clean - støtte til HF-, Piranha-, SC1- og SC2-bade

Vores procesværktøjer kan konfigureres med et komplet udvalg af støttesystemer for at forbedre automatisering, sikkerhed og kemikaliehåndtering:

• Systemer til håndtering af kemikalier
• Kemikalievogne til dispensering, fjernelse og opbevaring
• Indbyggede kar til opsamling af affald
• Løftestationer til neutralisering af affald
• Hardware til procesoptimering
• Temperaturregulerede cirkulationspumper (WHRV)
• Opvarmning: op til 5115 BTU/time
• Køling: op til 2550 BTU/time
• Recirkulerende bade for ensartet temperatur og flow
• Kvartstanke til kemisk modstandsdygtighed
• Skyllere med hurtig tømning (QDR)
• Nedsænknings-, kaskade- og sprøjtetilstand

Exentecs overfladebehandlingssystemer er skalerbare og klar til at blive integreret i renrum, R&D-laboratorier og højvolumenfabrikker. Uanset om du arbejder med standardsubstrater eller unikke materialer, kan vores team levere en procesklar platform, der er skræddersyet til dine behov.