Med et åbent procesområde, der afspejler konfigurationen af større vådbænke og integreret laminar luftstrøm, minimerer CELERA-systemet partikel- og røgforurening, hvilket gør det ideelt til forsknings-, udviklings- og pilotlinjemiljøer.


Vigtige fordele

  • Modulært design - Fuldt tilpassede tanklayouts og materialekonfigurationer
  • Kontamineringskontrol - Laminær luftstrøm over decktoppen giver et rent procesmiljø
  • Effektivitet i laboratorieskala - manuelle og halvautomatiske muligheder reducerer nedetid og forbedrer gennemstrømningen
  • Fleksibel substratunderstøttelse - fra 100 mm til 300 mm wafere og brugerdefinerede substrater

CELERA®-bænke er den ideelle manuelle eller halvautomatiske vådbehandlingsløsning til forskning og udvikling inden for halvledere, materialevidenskab og andre renhedskritiske anvendelser - med balance mellem ydeevne, fleksibilitet og sikkerhed i ét kompakt system.


Et overblik over systemet - fremhævede funktioner

  • 100 mm til 300 mm wafere plus brugerdefinerede substrater
  • Overfladebehandling og plettering
  • Konfigurationsmuligheder med adgang forfra og bagfra
  • Understøtter alle kemikalier og substratstørrelser
  • Polypropylen, PVC - FM4910 eller rustfrit stål
  • Halvautomatisk - Front-to-back-robotter eller mekanisk omrøring
  • Badrecirkulation/filtrering - Processer ved høj temperatur og i omgivelserne
  • Megasonic/Ultrasonic-tanke - Fjernelse af partikler og tykke rester
  • Badetilsætning - Hydrogenperoxid, D.I.-vand og yderligere tilsætningsstoffer
  • Mikroprocessorbaseret styring eller PLC-baseret styring med HMI-berøringsskærm
  • Hjul med justering af ben

Ekstraudstyr

  • FM 4910-godkendte byggematerialer
  • Tilpassede afløb og tilbehør til kemikaliehåndtering (karafler, flasker osv.)
  • FM-testet C2-branddetekterings- og slukningssystem
  • SEMI- og CE-mærke eller anden tredjeparts NRTL-test og -certificering
  • HEPA/ULPA-luftfiltrering

CELERA-muligheder
CELERA-muligheder

  • FM 4910-godkendte byggematerialer
  • Tilpassede afløb og tilbehør til kemikaliehåndtering (karafler, flasker osv.)
  • FM-testet C2-branddetekterings- og slukningssystem
  • SEMI- og CE-mærke eller anden tredjeparts NRTL-test og -certificering
  • HEPA/ULPA-luftfiltrering

CELERA Funktioner
CELERA Funktioner

100-300 mm wafere, substrater
Overfladeforberedelse og plettering
Mulighed for adgangforfra og bagfra
Understøtter alle kemikalier og substratstørrelser
Polypropylen, PVC-FM4910, rustfrit stål
Front-to-back-robotter eller mekanisk omrøring
Recirkulation/filtrering af bad
Høj temperatur + omgivende processer
Megasonic/Ultrasonic partikelfjernelse
Spiking af bad: Hydrogenperoxid, H2O

Fordele ved CELERA
Fordele ved CELERA

Modulært design Fuldt tilpassede tanklayouts og materialekonfigurationer

Kontrol af kontaminering Laminær luftstrøm over bordpladen giver et rent procesmiljø

Effektivitet i laboratorieskala Manuelle og halvautomatiske muligheder reducerer nedetid og forbedrer gennemstrømningen

Fleksibel support Fra 100 mm-300 mm wafere og brugerdefinerede substrater

CELERA Yderligere funktioner
CELERA Yderligere funktioner

  • Badrecirkulation/filtrering - processer ved høje temperaturer og i omgivelserne
  • Megasonic/Ultrasonic-tanke - Fjernelse af partikler og tykke rester
  • Badetilsætning - hydrogenperoxid, D.I.-vand og yderligere tilsætningsstoffer
  • Mikroprocessorbaseret styring eller PLC-baseret styring med HMI-berøringsskærm
  • Hjul med justering af ben