MEGA SA100 Funktioner
MEGA SA100 Funktioner

  • Online, kvantitativ koncentrationsovervågning
  • Op til 6 slipstreams (samme kemi) til flerpunktsanalyse af flere systemer
  • Programmerbare opskrifter til prøveudtagning, rensning og genopfyldning af bestanddele Specifikke assays og elektrokemiske sensorer til nøjagtig, målrettet måling
  • Indbygget automatisk skylning/udrensning med di- eller peroxid med manuel overstyring
  • Prøvetagning under tryk fra værktøjskilder
  • Adskilte kemiske og elektriske rum
  • Nødstop af maskine (E.M.O.), hørbare/visuelle alarmer og lækagedetektion
  • SEMI S2-overholdelse og verifikation af systemudstødning

Fordele ved MEGA SA100
Fordele ved MEGA SA100

  • Øg produktudbyttet ved nøjagtigt at opretholde processens kemiske sammensætning
  • Overvåg kemisk nedbrydning gennem hele produktets livscyklus
  • Hurtig opdagelse og korrektion af procesvariationer
  • Minimér risikoen for batchtab med kemisk indsigt i realtid
  • 99,9 % systemtilgængelighed sikrer pålidelig oppetid
  • Styres direkte fra blandingssystemet (ingen ekstern PLC påkrævet)

MEGA SA100-anvendelser
MEGA SA100-anvendelser

  • Fremstilling af halvledere
  • Overvågning af opslæmning efter CMP
  • Solar/PV-produktion
  • CMP-processer med lavt indhold af faste stoffer
  • Produktion af LED og siliciumcarbid (SiC)
  • Luft- og rumfart og ECD (elektrokemisk deponering)
  • Fremstilling af IoT-enheder SA100-serien - højpræcisionstitrering af opslæmning og kemisk analyse

Funktioner i MEGA® SA200-serien
Funktioner i MEGA® SA200-serien

  • Registrering af partikelstørrelse fra 0,2 μm til 20 μm (konfigurationsafhængig)
  • Justerbar binning af partikelstørrelse til granulære data
  • Understøtter op til 1.000.000:1 fortynding (to-trins)
  • Flere sensormuligheder og in-series-konfigurationer til verifikation
  • Langsigtet overvågning af batch- og filterydelse
  • Accepterer grab-prøver eller kontinuerlig prøveudtagning
  • Manuel fortyndings- og skyllekontrol med DI eller kemiske muligheder
  • Konstrueret af kemikalieresistent PFA-plast og flowmålere i 316 SS
  • Valgfri FM 4910 eller WPP-kompatible kabinetter