Optimer din slamdistribution med MEGA®

MEGA® Distribution Systems er avancerede, skalerbare løsninger til levering af blandet slam i halvleder- og CMP-applikationer. De giver præcis og ensartet slurryfordeling på tværs af en række kemisk-mekaniske planeringsværktøjer (CMP). MEGA® Distribution Systems er konstrueret til præcision, fleksibilitet og integration i CMP-slurrybehandlingsmiljøer - uanset om de understøtter nye installationer eller eftermontering af eksisterende fabrikker.

Vigtige fordele
Vigtige fordele

  • Pålidelig ydelse: Udviklet til lav- til mellemvolumen CMP-slurry-dispensering, hvilket sikrer pålidelig drift og værktøjssupport
  • Skalerbar konfiguration: Modulært design giver mulighed for tilpasning til at understøtte et bestemt antal globale slurry-loop - ideelt til voksende eller skiftende fabriksmiljøer
  • Omkostningseffektivt design giver et billigt fodaftryk uden at gå på kompromis med kvalitet eller ydeevne, hvilket gør det til et økonomisk valg til fabrikker og renrum.

Industrier, der betjenes
Industrier, der betjenes

  • Fremstilling af halvledere
  • Post-CMP-behandling
  • Solceller/fotovoltaik (PV)
  • CMP-applikationer med lavt faststofindhold
  • LED-produktion
  • Fremstilling af siliciumcarbid (SiC) / IoT-enheder

DIspense-kanaler
DIspense-kanaler

MEGA® SD1000 er specialbygget til distribution af kolloid og røget gylle til poleringslinjer med lav og mellemstor volumen. Hver doseringskanal er udstyret med en dedikeret:

  • Distributionstank
  • Pumpe til gylle
  • Filtreringsenhed
  • Globale kredsløbskomponenter

SD1000 er installeret på fabriksniveau og er optimeret til at levere gylle til polermaskiner inden for en radius af 30 meter, idet der opretholdes et POU-tryk (point-of-use) på 20-30 psi for et stabilt og effektivt gylleflow.

Vigtigste funktioner
Vigtigste funktioner

  • Automatiseret skylning, udrensning og dræning af rå og blandede gyllekredsløb
  • Kontinuerlig recirkulation i tanken for at bevare gyllens ensartethed
  • Koniske bundtanke på 56 liter (15 gallon) fremstillet af naturlig polypropylen (PP) Luft- og gylletees med kapacitiv gasmåling til at fjerne indesluttet luft i globale sløjfer
  • Integreret boblebefugter med nitrogen (N₂)-distribution til tankoverdækning
  • H₂O₂-overvågning i doseringskredsløbet
  • Afbryder/indikator for udstødningsdifferentialtryk
  • Manuelle prøvetagningsporte til hvert gyllekredsløb