Designet til ældre og nye applikationer
Disse systemer er udviklet til at opfylde de krævende krav til CMP-applikationer til halvlederproduktion og andre kemiske processer med høj renhed, og de understøtter en lang række blandingsforhold og makeup-hastigheder, hvilket gør dem ideelle til både ældre og næste generations applikationer.
MEGA®-blandingssystemer er designet til total pålidelighed og repeterbarhed og tilbyder automatiseret kontrol, intelligent overvågning og tilpassede tankkapaciteter for at opfylde de specifikke krav i hvert procesmiljø.
Funktionsrig teknik
Funktionsrig teknik
- Præcis blandingsstøtte til en lang række blandingsforhold og kemikalier
- Samlet blandingskapacitet fra 30 til 500 liter, afhængigt af systemkonfiguration
- Automatiseret skylning, udrensning og dræning af råmateriale og blandekredsløb for maksimal renlighed
- Luftfugter i boblestil giver et nitrogen (N₂)-tæppe over blandetanken for at beskytte renheden
- Manuelle prøvetagningsporte til verificering af blandingens kvalitet
Maksimer fordelene ved ydeevnen
Maksimer fordelene ved ydeevnen
- Udstødningsovervågning til sikkerhed og proceskontrol
- Manuel dæmpningsventil til kontrol af modtryk i overførselssløjfens returledning
- Manuel isolering, bypass, dræn og afgasning til forbedret filterkontrol
- Kapacitive tromletomhedssensorer til uafbrudt materialeforsyning
- Tryktransducer til realtidsovervågning af råmaterialets forsyningstryk
Applikationer til flere faciliteter
Applikationer til flere faciliteter
- Fremstilling af halvlederwafere
- Kemisk mekanisk planarisering (CMP)
- Fotovoltaisk og mikroelektronisk fremstilling
- Præcisionsbelægninger og avanceret materiale R&D
Funktionsrig teknik
Funktionsrig teknik
- Præcis blandingsstøtte til en lang række blandingsforhold og kemikalier
- Samlet blandingskapacitet fra 30 til 500 liter, afhængigt af systemkonfiguration
- Automatiseret skylning, udrensning og dræning af råmateriale og blandekredsløb for maksimal renlighed
- Luftfugter i boblestil giver et nitrogen (N₂)-tæppe over blandetanken for at beskytte renheden
- Manuelle prøvetagningsporte til verificering af blandingens kvalitet