Fjernelse af luftbåren molekylær kontaminering (AMC) er en særlig udfordring i meget rene produktionsmiljøer (f.eks. halvlederproduktion). Syrer, baser, kondenserbare stoffer og dopingstoffer i procesluften kan føre til uønskede kemiske reaktioner på waferoverfladen og procesudstyret. Exentecs AMC-filtre er konstrueret i vores interne teknologicenter. De er alle kvalificerede og optimerede i forhold til alle relevante aspekter som f.eks. filterkapacitet (maksimal levetid), højeste fjernelse effektivitet (maksimal procesbeskyttelse), laveste trykfald (energibesparelse), laveste afgasning og partikeludvikling.
CleanroomEnvelope modulære renrumspakker fra Exentec
Exentecs Cleanroom Envelope-løsninger er konstrueret til præcision og bygget til ydeevne og leverer et fuldt integreret, kontamineringskontrolleret miljø fra bunden af. Oplev, hvordan vores modulære systemer skaber en problemfri, kompatibel og fremtidsklar renrumsinfrastruktur.
For at tale med os om vores renrumsløsninger: +49 711 8804 8000
CCF
CCF
CCF med polystyrenramme, der indeholder imprægnerede kulmedier med imprægneret kul til fjernelse af baser samt kondenserbare stoffer / VOC'er. Dette filter er et V-formet filter med plisseret, imprægneret aktivt kulmateriale. Det er kendetegnet ved lavt trykfald og høj adsorption og bruges til fjernelse af alkaliske forureninger. Filteret er fuldt ud forbrændingsegnet.
INX
INX
INX med metalramme, der indeholder forskellige granulære eller fibrøse ionbyttermedier med anionbyttermedium til fjernelse af syrer. Det giver en meget høj renseeffektivitet samt en uovertruffen høj kapacitet og dermed en lang effektiv filterlevetid. Filteret har også et meget lavt trykfald, hvilket er med til at holde energiomkostningerne nede.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB med polystyrenramme, der indeholder forskellige granulære eller fibrøse ionbyttermedier. IXV-AB er et AMC-filter til meget effektiv fjernelse af syrer og baser. Udstyret med Exentecs egenudviklede fibrøse an- og kationbyttermaterialer. Filteret har en meget høj effektivitet for fjernelse af de pågældende stoffer.
CCF
CCF
CCF med polystyrenramme, der indeholder imprægnerede kulmedier med imprægneret kul til fjernelse af baser samt kondenserbare stoffer / VOC'er. Dette filter er et V-formet filter med plisseret, imprægneret aktivt kulmateriale. Det er kendetegnet ved lavt trykfald og høj adsorption og bruges til fjernelse af alkaliske forureninger. Filteret er fuldt ud forbrændingsegnet.
Forespørg om Exentec AMC-filtre
Antonio Barbarossa
Produktchef
Telefon: +49 174 9407118