Exentecs AMC-filtre er udviklet i vores eget teknologicenter. De er hver især kvalificerede og optimerede i forhold til alle relevante aspekter som f.eks. filterkapacitet (maksimal levetid), højeste fjernelseseffektivitet (maksimal procesbeskyttelse), laveste trykfald (energibesparelse), laveste afgasning og partikeludvikling.
Hvorfor er AMC-filtre vigtige i renrum?
Fjernelse af luftbåren molekylær kontaminering (AMC) er en særlig udfordring i meget rene produktionsmiljøer (f.eks. halvlederproduktion). Syrer, baser, kondenserbare stoffer og dopingstoffer i procesluften kan føre til uønskede kemiske reaktioner på waferoverfladen og procesudstyret. Kemiske filtre bruges i en lang række applikationer til kontamineringskontrol af omgivende og cirkulerende luft. Exentecs AMC-team tilbyder en omfattende service til test og afprøvning af kemiske filtermaterialer i henhold til de højeste kvalitetskrav. Udviklingen af filtermaterialer er fokuseret på at fjerne alle sure, basiske og organiske stoffer.
Klassificering af luftbårne molekylære forureninger
AMC-forbindelser klassificeres typisk i syrer, baser, kondenserbare stoffer (organiske forbindelser med en molvægt på 120 g/mol og et kogepunkt på >150 °C) og dopingstoffer (kemikalier, der kan ændre de elektriske egenskaber af halvlederskiver). Der er også andre stoffer, som er kendt for at kunne forårsage delirium (dvs. andre ætsende stoffer som H2O2, H2S eller ozon).
Med stadig mindre geometri på halvlederchips kan selv lavtkogende VOC'er (flygtige organiske forbindelser) være problematiske. Exentec kan rådføre sig med dig og levere en teknisk og økonomisk løsning til dine procesbehov.
CCF
CCF
CCF med polystyrenramme, der indeholder imprægnerede kulmedier med imprægneret kul til fjernelse af baser samt kondenserbare stoffer / VOC'er. Dette filter er et V-formet filter med plisseret, imprægneret aktivt kulmateriale. Det er kendetegnet ved lavt trykfald og høj adsorption og bruges til fjernelse af alkaliske forureninger. Filteret er fuldt ud forbrændingsegnet.
INX
INX
INX med metalramme, der indeholder forskellige granulære eller fibrøse ionbyttermedier med anionbyttermedium til fjernelse af syrer. Det giver en meget høj renseeffektivitet samt en uovertruffen høj kapacitet og dermed en lang effektiv filterlevetid. Filteret har også et meget lavt trykfald, hvilket er med til at holde energiomkostningerne nede.
IXV-AB
IXV-AB
IXV-AB med polystyrenramme, der indeholder forskellige granulære eller fibrøse ionbyttermedier. IXV-AB er et AMC-filter til meget effektiv fjernelse af syrer og baser. Udstyret med Exentecs egenudviklede fibrøse an- og kationbyttermaterialer. Filteret har en meget høj effektivitet for fjernelse af de pågældende stoffer.
CCF
CCF
CCF med polystyrenramme, der indeholder imprægnerede kulmedier med imprægneret kul til fjernelse af baser samt kondenserbare stoffer / VOC'er. Dette filter er et V-formet filter med plisseret, imprægneret aktivt kulmateriale. Det er kendetegnet ved lavt trykfald og høj adsorption og bruges til fjernelse af alkaliske forureninger. Filteret er fuldt ud forbrændingsegnet.
